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真空镀膜设备主要指需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，环保纳米镀膜设备，MBE分子束外延，大岭山纳米镀膜设备，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备，其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。

真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。这样，零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发，影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。此外，污染物在大气压下吸附了大量的气体，在真空环境中，这些气体也要被释放出来，构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此，零件组装前必须清除掉污染物。

真空镀膜机组成结构是怎样的？真空镀膜机是现在产品在真空条件下进行镀膜使用的一种设备，一台完整的真空镀膜机是由多部分系统组成的，汽车纳米镀膜设备，每个系统可以完成不同的功能，手机纳米镀膜设备，从而实现高得品质镀膜，其组成包括真空腔、机械泵、真空测试系统、油扩散泵、抽真空系统、冷凝泵以及成膜控制系统等等。

真空镀膜机的主体是真空腔，真空腔大小是由加工产品所决定，它的大小能定制，腔体一般是用不锈钢材料制作，要求结实耐用不生锈等。真空腔有许多连接阀用来连接各种辅助泵。