气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用
真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量，把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体，采用全新的制作工艺，是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。
热式气体质量流量计
热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。
质量流量控制器
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且沉积在基片表面，经历成膜过程，形成薄膜。
热式气体质量流量控制器模拟式和数字式分别表示什么意思
目前市面上的热式气体质量流量控制器种类复杂繁多，有毛细管传热的、芯片式传热的流量控制器区别。本公司生产的热式气体质量流量控制器的传感器均采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿），精度等级高，响应速度快，质量流量测量稳定等优点。在热式气体质量流量控制器选型的时候，混合气体流量计报价，我们经常会遇到销售人员询问客户是需要接收哪种信号？是模拟信号还是数字信号呢？那模拟信号和数字信号各自代表什么，混合气体流量计哪家好，它们之间又有哪些差别呢？在热式气体质量流量控制器选型时，应该怎么样来选择适合客户使用的产品呢？
有些公司生产的模拟式热式气体质量流量控制器可以选择0-5V的电压信号或是4-20mA的电流信号；0-5V的电压信号是行业内使用比较广泛和普遍的，稳定性好，精度高。4-20mA的电流信号传输距离远，可采点数量多。
还有一种数字式热式气体质量流量控制器可以选择RS232或是RS485 MODBUS协议的产品。RS232的数字信号产品常使用在实验室里面，一对一的方式电脑直接采集信号，适合实验室等研究院校；RS485 MODBUS协议的产品广泛应用于工厂，地址可以分配，适合工厂集中化管理与操作。数字式的热式气体质量流量控制器与模拟式的比较起来，响应的速度更快，特别是在测量中大量程的气体时精度更高。
不管是模拟式还是数字式的热式气体质量流量控制器，均可以配套二次数字显示仪表来进行操作，或是单独接PLC、工控机、电脑等来进行识别与操作。
数字型和模拟型的流量控制器的控制方法
热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。即利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性关系，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。
它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，混合气体流量计价格，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
热式气体质量流量控制器和质量流量计，根据它的信号传输模式可以分为：模拟型和数字型两种。国产的产品中，模拟型分为电压（0-5V或0-10V，内蒙古混合气体流量计，每个厂家与厂家之间可能会有稍微的差异）和电流（4-20mA或0-20mA）；数字型的主要还是市场上传统的RS485 modbus协议或RS232 （国外的产品还可选perfnet或是总线方式）。用户主要是通过采集数据信号，来进行的气体流量的检测，以及设定数据信号值，来达到调节和开启截止阀门的开度，从而控制气体的流量。
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