高1效过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行，同时建议在无尘车间风量平衡及正负压调试以后进行，新建成的无尘车间或更换终端高1效过滤器后均应作检漏测试。
《洁净室施工及验收规范》（下简称规范）第 3.4.4条，有“经检查和检漏合格的应立即安装”，指现场检漏合格以后，万级洁净室，再安装高1效过滤器，事实上很难具备这样的检漏条件。不可能做到，而根据规范附录六的要求是安装后进行高1效过滤器的扫描法检漏。
检漏时，从高1效过滤器的上风侧引入气溶胶，并同时在高1效过滤器的下风侧进行扫描检漏，万级洁净室供应，以检漏高1效过滤器的过滤介质，密封胶过滤器框架，密封垫片等处有无泄漏。
这里暂不讨论无尘车间管道内及空调器内的高1效过滤器检漏，只对安装在无尘车间终端及相关净化设备内的高1效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。
无尘车间等速采样
在有速度的气流中采样，采样速度应等于气流速度，否则采样浓度将大于或小于真实浓度，即气流速度大于采样速度，采样浓度将大于真实浓度，反之，气流速度小于采样速度，采样浓度将小于真实浓度。
每个测点实际获得时间 Ts=Dp/Sr=1 s
所以，采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、K 值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。特别需要指出的是，如采用 28.3 L/min 的粒子计数器和 2.83 L/min 的粒子计数器，他们的扫描速率可以相差十倍，也就是讲，每检测一个过滤器的时间也相差十倍。
洁净室无尘车间 规范要求扫描速率为 5 ～ 20mm/s ( 其实这个速率是应该根据具体情况可以计算调整的，一般建议采用 28.3 L/min 的粒子计算器，扫描速率在 30 ～ 5mm/s 左右 )。
无尘车间净化过滤要求；
通风管道一般采用三级过滤，即普通过滤装置、中效过滤装置、高1效过滤装置。过滤器的质量好坏，需要***把关。质量不好的过滤器，用的时间短，过滤效果不好。特别是风阻过大，导致出风量小。据我调查，千级净化室高1效过滤器，需到上海采购。通风管道的链接部位，要用质量好的密封圈。用密封胶来弥补密封圈的质量问题，时间稍长一些，管道密封就会出问题，解决起来非常麻烦。会造成意想不到损失。送风管道质量出了问题，万级洁净室怎么用，等于无尘车间全部工程推倒重来。净化工程质量出问题，万级洁净室价格，大部分是管道安装出现问题，重新打密封胶，只能暂时解决问题。有的使用单位高1效过滤器更换频繁，一般都是送风管道出现毛病，所以无尘车间安装净化管道必须精心。工程监理一分钟都不可离开。
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