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当较表层电子器件跃入内层空化所释放的力量不被分子内吸收,而是用光方式释放,便形成X射线荧光,其力量相当于两原子能级间的能量差。因而,射线荧光的能量或光波长是特征的,与原素有相互对应之间的关系。由Moseley基本定律可知,只要测出荧光X射线的光波长,就能知道元素的种类,这便是荧光X射线定性分析的基础。除此之外,荧光X射线的强度与相应的元素含量有一定的关系,由此,也可以进行原素定量分析。X射线探测仪将试品的元素X射线的特征谱线的光数据转换成便于测量的电信号来获得待测的元素特***息内容。
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