真空镀膜-艾明坷-真空镀膜报价

如何选择真空镀膜设备供应商

设备稳定性一定要好，真空镀膜，选用的配件一定要可靠，镀膜机本身是一个复杂的系统，包括真空，自动化，机械等多个系统，任何一个部件的不可靠，都会造成系统的不稳定，会给生产带来不便，所以，一台稳定的设备，要保证选用的每一个部件都是可靠的，很多人在购买镀膜机时，很自然的会比较，一台100万的镀膜机和一台200万的镀膜机在基本配置上可能不会有非常大的区别，可是正是对一些微小的细节的掌握，才成就了一台性能稳定的镀膜机。

真空镀膜系统主要构成

1.真空室

涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式，不锈钢材料制造、表面进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。

2.真空获得部分

在真空技术中，真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。

3.真空测量部分

真空系统的真空测量部分，就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样，没有一种真空计能测量整个真空范围，人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。

4.电源供给部分

靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(RF)。

5.工艺气体输入系统

工艺气体，如氮气(N2)、氢气(H2)、氧气(O2)等，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。

6.机械传动部分

涂层要求周边必须厚度均匀一致，因此，在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。

7.加热及测温部分

涂层设备一般有不同位置的加热器，用热电偶测控温度。但是，由于热电偶装夹的位置与工件位置不同，温度读数不可能是工件的真实温度。要想测得工件的真实温度，有很多方法，可以在工件上装高温试纸或热偶计。

8.离子蒸发及溅射源

多弧镀的蒸发源一般为圆饼形，俗称圆饼靶，也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁，通过前后移动磁铁，改变磁场强度，可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度，要给靶座不断通入冷却水。为了保证靶与靶座之间的高导电、导热性，还可以在靶与靶座之间加锡垫片。

9.水冷系统

一般由冷水塔，冰水机，真空镀膜报价，水泵等组成。

10.工控系统

ST系列镀膜机

ST系列镀膜机系我司标准化产品，满足大部分实验室科研需求，丰富的可选配置也可响应您的特殊需要。特点：1、集成一体化结构。

2、极限真空度高，可达7×10-5Pa，可保证更高的镀膜纯净度，提高镀膜质量。

3、从大气到工作背景真空（7×10-4Pa）时间短，30分钟左右（充干燥氮气）。 系统停泵关机12小时后真空度：≤8Pa。

4、整机采用柜式结构，密封性能好，防尘防水，安全。

5、磁控、热蒸发多种镀膜方式可选。

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