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真空镀膜系统

机械泵的目的是为了获得低真空，通过机械方法改变泵内吸气空腔的体积，使得被抽容器内的体积不断膨胀，从而获得粗真空，旋片式真空泵由转子、定子和旋片等结构构成，其中，定子在油箱中，油起到润滑的目的，挥发的油经由排气口排出，经过真空泵油雾过滤器过滤，真空镀膜报价，油雾颗粒被过滤器，过滤后可实现再利用。镀膜工艺由多种不同的泵组合原因就是为了获得高真空，因此第二步就是油扩散泵，之所以要在油扩散泵前安装机械泵，是因为油扩散泵不能直接在大气压下工作，需要一定的预备真空度。油扩散泵获得真空的方法主要是油的蒸汽压与气体分子的反扩散，为了防止油扩散泵返油就需要使用的泵以及有效的冷阱，大型镀膜机使用更有效的高真空组合。

真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法

制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。真空状态需要抽气系统来控制的，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就可以控制好抽气的均匀性，真空镀膜生产厂家，如果抽气不均匀，甘肃真空镀膜，在真空室内的压强就不能均匀了，真空镀膜公司，压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制，太短会造成真空度不够，但太长又浪费资源，不过有真空计的存在，要控制好还是不成问题的。

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真空镀膜机的详细结构

高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统.

一、真空主体——真空腔

根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。

二、辅助抽气系统

此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成

排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。

排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。

机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。

机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用广泛，本文主要介绍）四种类型。

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