真空镀膜设备由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成的，例如车铣、刨、磨、镗、焊接等。零件组装前必须清除掉污染物。真空镀膜设备在使用过程中，零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。真空镀膜设备有：立式，卧式。可加工的产品包括：手机、DVD、MP3、PDA外壳、按键、化妆品外壳、工艺礼品，玩具。化学气相沉积设备
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真空镀膜技术应用越来越广泛。随着工业技术的不断发展，对材料的综合性能要求也不断提高，cvd化学气相沉积设备，单一材料性能已不能满足某些特定环境下工作机械的性能要求。从半导体集成电路、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看，对真空镀膜设备、技术、材料需求都在不断增加;装饰材料上具有各种功能装饰效果的功能膜;工、模具表面上应用的耐磨超硬膜;纳米材料研究方面的各种功能性薄膜等。
真空镀膜机详解
辅佐抽气系统
此排气系统选用“涣散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”构成
排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA支配的低真空情况，为涣散泵后继抽真空提供条件，化学气相沉积设备多少钱，今后当涣散泵抽真空腔的时分，机械泵又协作油涣散泵构成串联，以这样的方法结束抽气动作。
排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，首要有由机械泵、增压泵(首要介绍罗茨泵)、油涣散泵三大部分构成。
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