影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?
磁场不均匀的影响
由于实际的磁控溅射装置中电场和磁场不是处处均匀的，也不是处处正交的，都是空间的函数。写出的三维运动方程表达式是不可解的，至少没有初等函数的解。所以磁场的不均匀性对离子的影响，也即对成膜不均匀性的影响是难以计算的，好的方法就是配合实验具体分析。图1是用中频孪生靶柔性卷绕磁控溅射镀膜装置实验得出的靶磁场均匀性和成膜厚度均匀性的对应关系。
薄膜油的表面测量不是一个几何概念，而是一个埋藏的概念，指的是表面分子(原子)的集合。平均表面指的是表面上所有原子的点对这个表面的代数和等于零。
我们通常把底物一侧表面分子集合的平均表面称为底物表面;膜边表面的平均表面称为膜的形状表面。将测量到的薄膜原子重新排列，小型化学气相沉积设备，使固体材料的密度和体积完全一致，均匀地分布在基体表面。那么平均表面称为薄膜质量当量表面。根据被测薄膜的物理性质，将其等效为与被测薄膜长、宽相同的大型固体材料薄膜，则其平均表面称为薄膜物理等效面。
真空镀膜机如何清洗和维护？
真空镀膜设备在使用很长时间以后，如果不去维护就会导致工作效率低下，镀膜质量变差，机械里面的抽速就会变慢，如果不及时清洗，后果很严重，首先我们要冲入大气，拆掉链接的水管，要把泵腔和泵胆都好好的清洗一遍，再用清洗剂清洗一遍，到后面用冷水清洗干净，晾干以后，重新加入泵油，然后装好所有的设备，重新开机使用就可以了!
在清洗以后重新开机要注意，要注意检查一下漏油的事情，化学气相沉积设备，启动好维持泵，关好大门，实验室化学气相沉积设备厂家，过一段时间以后，看看扩散泵是否达到真空泵6*10帕，如果没有就要重新检漏，金属化学气相沉积设备，还要检查，连接处有没有密封的胶圈，排除漏气隐患以后，就可以加热了，要不然会导致扩散泵烧坏，没办法正常工作!
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