真空镀膜机具有真空度高、抽速快、基片装卸方便的特点，配备 E 型电子束蒸发源和电阻蒸发源。PID自动控温，具有成膜均匀、放气量小和温度均匀的优点。E 型电子束蒸发、电阻热蒸发源组件（可选配）、样品掩膜挡板系统、真空获得系统及真空测量系统、分子泵真空机组或低温泵真空机组、旋转基片加热台、工作气路、样品传递机构，膜厚控制系统、电控系统、恒温冷却水系统等组成。可选件：膜厚监控仪，恒温制冷水箱。
薄膜油的表面测量不是一个几何概念，而是一个埋藏的概念，指的是表面分子(原子)的集合。平均表面指的是表面上所有原子的点对这个表面的代数和等于零。
我们通常把底物一侧表面分子集合的平均表面称为底物表面;膜边表面的平均表面称为膜的形状表面。将测量到的薄膜原子重新排列，使固体材料的密度和体积完全一致，均匀地分布在基体表面。那么平均表面称为薄膜质量当量表面。根据被测薄膜的物理性质，工具镀膜设备厂家，将其等效为与被测薄膜长、宽相同的大型固体材料薄膜，则其平均表面称为薄膜物理等效面。
真空镀膜机在各个行业中在适用过程中对环境也是有要求的，它对环境的要求主要遵循以下几点：
1.对加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要的，需要镀前清洁处理，工具镀膜设备公司，可以达到工件去油、去污和脱水的目的;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体；
2.经过清洗处理的清洁表面，板芙工具镀膜设备，不能存放在大气环境中，须用封闭容器或保洁柜贮存，工具镀膜设备工厂，可以减小灰尘的沾污。可以用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底，因此贮存在真空干燥箱中；
3.清除镀膜室内的灰尘，需设置清洁度高的工作间，洁净室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。除镀前需要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还需进行烘烤除气。
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