




派瑞林(parylene)应用范围
1、电路板2、传感器3、集成电路4、精密微型电机5、太空探索设备6、微纳米系统制造7、航空电子8、电子9、车辆内部的电子
作用:使用高纯parylene作钝化层和介质层,能提供安全、稳定的防护
Parylene是这些组装方式的防护材料。Parylene活性分子的良好穿透能力在元件内部,底部、周围形成无气隙的防护层。优良的防潮、防***和耐溶剂性能优良的介电绝缘性能、微米级的精密制作、极薄的膜层仍具极优的电性能、物理机械性能和防腐蚀功能。电子产品体积越来越小,越来越复杂,Parylene共形涂敷能够提供超薄无防护来保证元件的可靠性和使用寿命。
晶格有序度的均匀性:
这决定了薄膜是单晶,多晶,派瑞林镀膜厂商,非晶,派瑞林镀膜工艺,是真空镀膜技术中的热点问题,沙溪派瑞林镀膜,具体见下。
主要分类有两个大种类:
蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等
一、对于蒸发镀膜:
一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4、真空度
5、镀膜时间,厚度大小。
组分均匀性:
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,派瑞林镀膜厂家,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
晶向均匀性:
1、晶格匹配度
2、基片温度
3、蒸发速率
真空镀膜工艺:为使光学零件能满足在光电仪器及元器件中所需的光学,电学,物理性能,而可以在其表面上镀一层,多层乃至上百层的薄膜。例如增透膜、反射膜、分光膜、滤光膜、电热膜、保护膜、偏振膜等。光学零件的镀膜主要分物理和化学镀膜两类。由于真空技术和膜系监控技术的发展,较易获得性能稳定,结构复杂的膜层。故在生产中多以真空镀膜法为主。
按照薄膜的使用性能分类,常见的膜层有:增透膜,反射膜,分光膜,滤光膜,电热膜,导电膜及保护膜等。按照薄膜的结构可以分为单层膜,双层膜及多层膜等。
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