




真空镀膜设备的真空系统构成:
目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同,金属真空镀膜设备哪家好,而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别,归纳起来主要有如下几种系统:通用真空系统、超高真空系统、制冷机低温泵系统。
一、通用真空系统
系统的主泵是油扩散泵,泵上方设有水冷挡板(阱),主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2~10-4Pa的范围内。
二、超高真空系统
在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵,就可以使镀膜室真空度提高到10-6Pa以上,从而得到超高真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵,所以还是有油的系统。
镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空,有利于膜质量的提高。分子泵抽速很大,可以缩短工艺周期。
三、制冷机低温泵系统
使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点:无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的极限压力、操作简单、蓬盘维护方便。
真空镀膜设备在使用的过程中,有时候会出现不良的情况,这时候就需要排查原因
查找镀膜产品不良原因时,先要看点子是发生在镀膜前,镀膜中,还是镀膜后的。 如果镀膜后,一般能擦掉或者洗掉。 如果是镀膜前,一般只需要改善清洗,或者开镀前离子风除下静电,或者开镀前离子源轰一下也能改善。 镀膜中流程细节比较多,金属真空镀膜设备选哪家,比较复杂,常平金属真空镀膜设备,具体情况具体分析,比如点子的颜色,金属真空镀膜设备厂家,形状,镀膜条件等等,我们都要具体去分析,针对性去解决。
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真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意***皮肤不可以直接接触溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
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