




氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及***性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统,快速有效地清除超标的氦本底,保证检测的稳定性和准确性;实时监测氦气压力和浓度,保证了工件检测的精度;
外漏主要是渗漏,主要部位为板片和板片之间的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处。串液主要为压力高的一侧的介质串入压力较低- -侧的介质中,系统会出现压力和温度的异常。如果介质具有腐蚀性,空调检漏,还可能导致回路中其他设备的腐蚀。串液通常发生在导流区域或者二道密封区域。为了避免外漏的发生,需要对板片和板片的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处进行氦质谱检漏。
氦质谱检漏仪用于对容器或器件的密封性进行检测,对被检件泄漏点进行定性、定量和***的检测。仪器利用内置的真空系统,将被检气体抽入到仪器内部,然后将该混合气体离化,并将离子加速送入磁场当中,利用带电离子在磁场中的偏转效应,使氦离子与其它离子分离,通过对此氦离子信号的接收、放大和显示,从而反映出被测器件的密封性。
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