清阳净化系统工程公司(图)-无尘室施工-无尘室

洁净工程区域功能讲解：

　　1. 粘性地板材料：通常用在洁净室入口到更衣区域和洁净室中，粘性材料用来祛除鞋底的尘埃微粒。

　　2. 更衣区域：洁净室与外部环境的缓冲地带，对这个区域的管理直接影响到洁净室洁净度的保持。

　　3. 气压：保持和监测相对于外部环境或相关区域的正气压将直接影响到洁净室的运行。

　　4. 风浴：理论上，更衣过的工作人员在进入洁净室前应进行进一步的“擦洗”。

　　5. 维修间：置放辅助和支持设备(除载入和载出设备之外)，无尘室施工，这个区域的维护对生产洁净度水平而言是非常重要的。

　　6. 双门通道：允许原料或产品进出洁净室的气密进出口。

　　7. 更衣程序：就洁净室服装而言，存放、穿衣和更衣都对洁净室运行起到关键的作用。洁净室维护(包括洗衣)在洁净室运行中经常被忽略

净化技术的设备发展

　　美国在台湾的T***CS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，无尘室设备，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的***中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。

为切实执行《***

GMP

认证检查评定标准》

，使空调净化系统的检查验收得

以系统化、具体化，并具备可操作性，无尘室，制订本指南。

1.2

本指南适用于***

GMP

认证关于空调净化系统的检查评定和企业日常自检评

定，不涉及工艺要求、平面布局、围护结构等方面。

1.3

空调净化系统的正确做法与功能除应符合本指南外，还应参照相关标准、专

业理论和技术以及现场实际情况作出判断。

1.4

本指南带

*

号的条目如不达标，为严重缺陷，无尘室设计，其他为一般缺陷。有

1

项严重

缺陷，或有＞

20

％的一般缺陷，则不予通过验收验证