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真空镀膜服务MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

提起膜，大多数人的反应都是给手机屏幕贴的膜吧，其实，生活中的很多常用物品的表面都是有膜的，能够起到很好的保护作用，比如鼠标的外壳在制作完成之后，是需要进行镀膜的。这种膜不是像手机膜那种常规意义上的膜，而是一种建立在基板层面上的膜。所以这种膜是需要的仪器才能够做到的。

这种设备叫作磁控溅射镀膜机，之所以称之为磁控溅射镀膜机是因为主要应用的是磁控溅射技术。这是一种通过涉及气态等离子体的沉淀技术，在镀膜时，将需要镀膜材料准备好，将等离子气体与需要镀膜的材料处于同一空间之中，利用高能离子将材料表面进行侵蚀，上海真空镀膜服务，使得原子能够沉积在基板的表面上并形成薄膜。这样就完成了对于材料表面的“贴膜过程”。

这种磁控溅射镀膜技术可以说好处颇多。磁控溅射镀膜技术可以满足基本上所有的材料，同时还不限制材料的熔化温度，无论是金属、塑料还是合金等等，都可以实现贴膜。而且在操作时是可以根据基材和涂层进行调整的，并且可以安置于腔室内的任何位置。即使是以沉积合金或者是化合物的薄膜，就可以基本保持原始材料的相似效果。

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真空镀膜机真空泵的使用过程中出现的问题，整理了维修师傅的多年经验，来跟大家分享一点真空泵的日常***和维修办法。

一、可以先检查旋片真空机组管路以及结合处，观察其是否存在松动的情况。还可以用手转动真空泵来测试真空泵是否还灵活。

第二、可以向轴承体内加入轴承润滑机油，这也是一个比较简单的***方式。要保证油位在油标的中心线处，润滑油也要及时更换和补充。

第三、在真空泵出现的问题的时候，也可以点动电机，EB真空镀膜服务，看看电机转向是否正确，这也是一种简单有效的检修方式。如果开动电机，真空泵已经可以正常运转，先打开出口压力表，观察并等其显示出适当的压力以后，再逐渐打开闸阀，并同时检查电机的负荷情况。

第四、在使用机器的时候，为了保证真空泵在合理的效率点运转，要尽量控制真空泵的流量和扬程，不要超过标注的范围，这样才可以产生尽可能多的节能效果。

第五、真空泵在运行的时候，要注意控制轴承温度，尽量把轴承温度控制在35摄氏度以内。如果发现真空泵有异常声响，要及时检查原因。并定期检查轴承的磨损情况，如果已经磨损较大，一定要及时更换。

第六、使用真空镀膜机真空泵的个月内，经过一百小时以后就要更换润滑油，以后在五百小时换一次油就可以了。

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使用电子束来加热蒸发形成蒸发膜的优点有以下几条：首先，镀膜机中的电子束加热的方法相较于传统的电阻加热方法而言，电子束加热会产生更高的通量密度，对于那些高熔点的材料的蒸发可以说是有利条件，还可以使蒸发速率得到一定程度上的提高。其次，蒸发镀膜机在工作的时候会将需要被蒸发的原材料放入到水冷铜坩埚内，这样就可以保证材料避免被污染，大幅度提高薄膜的纯度，制造高纯度的薄膜。后，电子束蒸发的粒子动能较大，有利于薄膜的精密结合。

电子束蒸发镀膜机的系统组成一般大致相同系统主要由蒸发真空室、E型电子、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。

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