半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质,包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态,有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括***金、铜、铁、铬等,严重影响少数载流子寿命和表面电导;碱金属如钠等,引起严重漏电;颗粒污染包括硅渣、尘埃、xi菌、微生物、有机胶体纤维等,会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
单晶圆清洗(SWC)系统,晶圆清洗,用于***的无损兆声清洗。可以适用于易受损的带图案或无图案的基片,包含带保护膜的掩模版。为了在确保不损伤基片的情况下达到*化的清洗效果,兆声能量的密度必须保持在稍稍低于样片上任意位置上的损伤阈值。NANO-MASTER的技术确保了声波能量均匀分布到整个基片表面,晶圆清洗台,通过分布能量的***大化支持的清洗,同时保证在样片的损伤阈值范围内。
主要清洗参数为:1、材质:槽体为全不锈钢制作,镇江晶圆,耐酸耐碱,外形美观大方。2、机型:可根据客户要求加工定制。3、功率、频率:可调,采用超声波发生器,晶圆腐蚀台,能量转换率高。4、温控:常温0-110℃可调。5、支架可根据要求和实际需要定制。
清洗设备分类
清洗设备是指废旧塑料瓶、塑料薄膜等废旧塑料经过清洗、烘干、加工制作成重新再利用的机械设备。
清洗设备分为:pet瓶片清洗设备、不锈钢成套清洗设备、塑料清洗设备、新型清洗设备、小型清洗设备、中型清洗设备等。
Pet瓶片清洗设备是指全自动聚酯(如矿泉水瓶、苏打水瓶)片料回收清洗、脱水、干燥生产线,pet瓶片清洗设备(饮料瓶片清洗机设备、pet清洗机组)该生产线月产量可达300-1200吨,自动化程度高,从破碎、输送、清洗、漂洗、脱水、干燥一体化。
镇江晶圆-晶圆清洗-苏州晶淼半导体(推荐商家)由苏州晶淼半导体设备有限公司提供。行路致远,砥砺前行。苏州晶淼半导体设备有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴,更矢志成为清洗、清理设备具有竞争力的企业,与您一起飞跃,共同成功!