氮化***材料刻蚀加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
刻蚀也可以分成有图形刻蚀和无图形刻蚀。
在等离子蚀刻工艺中，发生着许多的物理现象。当在腔体中使用电极（DC或RF激发）或微波产生一个强电场，这个电场会加速所有的自由电子并提高他们的内部能量(由于宇宙射线的原因，氧化硅材料刻蚀工艺，在任何环境中都会存在一些自由电子)。自由电子与气体中的原子/分子发生撞击，如果在碰撞过程中，电子传递了足够的能量给原子/分子，就会发生电离现象，并且产生正离子和其他自由电子若碰撞传递的能量不足以激发电离现象则无法产生稳定且能发生反应的中性物当足够的能量提供给系统，一个稳定的，气相等离子体包含自由电子，正离子和反应中性物等离子蚀刻工艺中等离子体中的原子、分子离子、反应中性物通过物理和化学方式移除衬底表面的材料。纯物理蚀刻采用强电场来加速正原子离子（通常使用重量较重，惰性的原子）朝向衬底，加速过程将能量传递给了离子，当它们撞击到衬底表面时，内部的能量传递给衬底表面的原子，如果足够的能量被传递，衬底表面的原子会被喷射到气体中，较终被真空系统抽走。
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一般而言，高蚀速率（在一定时间内去除的材料量）都会受到欢迎。
二氧化硅湿法刻蚀：较普通的刻蚀层是热氧化形成的二氧化硅。基本的刻蚀剂是，它有刻蚀二氧化硅而不伤及硅的优点。然而，饱和浓度的在室温下的刻蚀速率约为300A/s。这个速率对于一个要求控制的工艺来说太快了。在实际中，与水或及水混合。以来缓冲加速刻蚀速率的氢离子的产生。这种刻蚀溶液称为缓冲氧化物刻蚀或BOE。针对特定的氧化层厚度，氧化硅材料刻蚀加工，他们以不同的浓度混合来达到合理的刻蚀时间。一些BOE公式包括一个湿化剂用以减小刻蚀表面的张力，以使其均匀地进入更小的开孔区。
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介电刻蚀应用中通常使用含氟的化学物质。
氮化硅湿法刻蚀：对于钝化层，另外一种受青睐的化合物是氮化硅。可以用液体化学的方法来刻蚀，吉林氧化硅材料刻蚀，但是不想其他层那样容易。使用的***是热磷酸。因酸液在此温度下会迅速蒸发，所以刻蚀要在一个装有冷却盖的密封回流容器中进行。主要问题是光刻胶层经不起刻蚀剂的温度和高刻蚀速率。因此，需要一层二氧化硅或其他材料来阻挡刻蚀剂。这两个因素已导致对于氮化硅使用干法刻蚀技术。
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