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管道气体流量计生产过程是什么？
(1)测量待测气体的流量，其中热元件是掺杂有高浓度杂质的硅(Si)半导体膜，并且气体流量计包含屏蔽层，该屏蔽层布置为硅(Si)半导体膜的上层和下层，并且形成在至少覆盖腔室的区域中。在热处理的生热温度范围内，屏蔽层的渗透性较低并吸收氢。
利用这种配置，可以通过使用屏蔽层来减少热元件的电阻值的老化变化和气体流量计的老化变化。
(2)在上述气体流量计(1)中，屏蔽层可以包括化学计量稳定的氮化硅(Si3N4)膜。
(3)在上述气体流量计(1)中，优选的是，硅(Si)半导体膜是施加有杂质的多晶硅(Si)半导体膜，并且多晶硅(Si)半导体膜掺杂有高浓度的磷(P)或硼(B)作为杂质。
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管道气体流量计按测量原理可分为如下几个大类：
1、力学原理：属于此类原理的仪表有利用伯努利定理的差压式、转子式；利用动量定理的冲量式、可动管式；利用牛顿第二定律的直接质量式；利用流体动量原理的靶式；利用角动量定理的涡轮式；利用流体振荡原理的旋涡式、涡街式；利用总静压力差的皮托管式以及容积式和堰、槽式等等。
2、电学原理：用于此类原理的仪表有电磁式、差动电容式、电感式、应变电阻式等。
3、声学原理：利用声学原理进行流量测量的有超声波式．声学式（冲击波式）等。
4、热学原理：利用热学原理测量流量的有热量式、直接量热式、间接量热式等。
5、光学原理：激光式、光电式等是属于此类原理的仪表。
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压缩空气流量涡街流量计测量的应用：
1、涡街流量计的测量范围较大，一般10：1，但测量下限受许多因素限制：Re＞10000是涡街流量计工作的基本条件，除此以外，它还受旋涡能量的限制，介质流速较低，则旋涡的强度、旋转速度也低，难以引起传感元件产生响应信号，旋涡频率f也小，还会使信号处理发生困难。测量上限则受传感器的频率响应（如磁敏式一般不超过400Hz）和电路的频率限制，因此设计时一定要对流速范围进行计算、核算，根据流体的流速进行选择。使用现场环境条件复杂，管道气体流量计哪家好，选型时除注意环境温度、湿度、气氛等条件外，还要考虑电磁干扰。
2、振动也是涡街流量计的一大劲敌。因此在使用时注意避免机械振动，尤其是管道的横向振动（垂直于管道轴线又垂直旋涡发生体轴线的振动），这种影响在流量计结构设计上是无法***和消除的。由于涡街信号对流场影响同样敏感，故直管段长度不能保证稳定涡街所必要的流动条件时，成都管道气体流量计，是不宜选用的。即使是抗振性较强的电容式、超声波式，保证流体为充分发展的单向流，也是不可忽略的。
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