磁控溅射真空镀膜MEMS真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究，兼顾重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。
磁控溅射真空镀膜的具体方法是在真空条件下电离惰性气体， 气体离子在电场的作用下 ， 轰击金属靶材使金属原子沉积到玻璃表面上。它是七十年代末期发展起来的一种***的工艺方法，膜层由多层金属或金属氧化层组成， 允许任意调节能量通过率、能量反射率， 具有良好的外观美学效果， 它克服了其它生产方法存在的一些缺点， 因而目前国际上广泛采用这一方法。磁控溅射是一种新型的高速、低温溅射镀膜方法， 它是在专门的真空设备中， 借助于高压直线溅射装置进行的。磁控溅射镀膜工艺的原理是: 将玻璃送入设有磁控阴极和溅射气体的真空室内，阴极加负电压，青海磁控溅射真空镀膜，在真空室内辉光放电，产生等离子体。由于金属靶材带负电，等离子中带正电的气体离子被加速，并以相当于靶极位降U的能量冲击靶面，磁控溅射真空镀膜工艺，将金属靶的原子轰出来，使之沉淀在玻璃表面形成金属膜。
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真空镀膜机真空泵的使用过程中出现的问题，整理了维修师傅的多年经验，来跟大家分享一点真空泵的日常***和维修办法。
一、可以先检查旋片真空机组管路以及结合处，观察其是否存在松动的情况。还可以用手转动真空泵来测试真空泵是否还灵活。
第二、可以向轴承体内加入轴承润滑机油，这也是一个比较简单的***方式。要保证油位在油标的中心线处，润滑油也要及时更换和补充。
第三、在真空泵出现的问题的时候，也可以点动电机，看看电机转向是否正确，这也是一种简单有效的检修方式。如果开动电机，真空泵已经可以正常运转，先打开出口压力表，观察并等其显示出适当的压力以后，再逐渐打开闸阀，并同时检查电机的负荷情况。
第四、在使用机器的时候，为了保证真空泵在合理的效率点运转，要尽量控制真空泵的流量和扬程，磁控溅射真空镀膜技术，不要超过标注的范围，这样才可以产生尽可能多的节能效果。
第五、真空泵在运行的时候，要注意控制轴承温度，磁控溅射真空镀膜服务价格，尽量把轴承温度控制在35摄氏度以内。如果发现真空泵有异常声响，要及时检查原因。并定期检查轴承的磨损情况，如果已经磨损较大，一定要及时更换。
第六、使用真空镀膜机真空泵的个月内，经过一百小时以后就要更换润滑油，以后在五百小时换一次油就可以了。
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PVD真空镀膜机和CVD镀膜机区别
薄膜沉积技术根据成膜机理的不同，主要分为物理、化学、外延三大工艺。物***相沉积镀膜设备，简称PVD真空镀膜机。化学气相沉积镀膜机，简称为CVD镀膜机。
薄膜沉积技术是半导体、光伏等行业发展的关键工艺。薄膜沉积技术是指将在真空下用各种方法获得的气相原子或分子在基体材料表面沉积以获得离层被膜的技术。它既适合于制备超硬、耐蚀、耐热、化的机械薄膜，又适合于制备磁记录，信息存储、光敏、热敏、超导、光电转换等功能薄膜；此外，还可用于制备装饰性镀膜。近20年来，薄膜沉积技术得到了飞速发展，现已被广泛应用于机械、电子、装饰等领域。
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