微波能通常由直流电或50Hz交流电通过一特殊的器件来获得。可以产生微波的器件有许多种，微型射频组件，但主要分为两大类：半导体器件和电真空器件。电真空器件是利用电子在真空中运动来完成能量变换的器件，或称之为电子管。在电真空器件中能产生大功率微波能量的有磁控管、多腔速调管、微波三、四极管、行波管等。在微波加热领域特别是工业应用中使用的主要是磁控管及速调管。
影响毫米波传播的主要气体是氧分子和水蒸气，这些气体的谐振将会对毫米波频率产生选择性吸收与散射。由氧分子谐振引起的吸收峰出现在60和120GHz附近，而由水蒸气谐振引起的吸收峰出现在22和183GHz附近，在整个毫米波频段有四个传播衰减相对较小的“大气窗口”，它们的中心频率在35GHz、45GHz、94GHz、140GHz、220GHz附近，这些“窗口”对应的带宽分别是16GHz、23GHz、26GHz、70GHz。在这些特殊频段附近，微型射频组件厂家，毫米波传播受到的衰减较小，比较适用于点对点通信。
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