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广东省科学院半导体研究所

普通会员3
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企业等级:普通会员
经营模式:生产加工
所在地区:广东 广州
联系卖家:曾经理
手机号码:15018420573
公司官网:www.micronanolab.com
企业地址:广州市天河区长兴路363号
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企业概况

广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,其前身是2010年10月在成立的广东半导体照明产业技术研究院。2015年6月经省政府批准,由原广东省科学院、广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)、广东省测试分析研究所(中国广州分析测试中心)、广东省石油化工研究院等研究院所整合重组新广......

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产品编号:1000000000024926580                    更新时间:2023-05-21
价格: 来电议定
广东省科学院半导体研究所

广东省科学院半导体研究所

  • 主营业务:深硅刻蚀,真空镀膜,磁控溅射,材料刻蚀,紫外光刻
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氮化***材料刻蚀加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。


蚀刻加工的工艺怎么去处理?

  1、蚀刻加工件的清理:蚀刻加工结束后要立即将蚀刻加工件进行水清洗整洁,因为蚀刻液全是强腐蚀的液體。假如残余在蚀刻加工产品工件的表层,会导致蚀刻加工商品的浸蚀毁坏或掉色。

  2、消除耐腐蚀防护层:蚀刻加工制品经清理整洁后烘干,除去维护镀层。如果选用的是黏贴的有机膜可以直接一片脱离;如果是建筑涂料或印刷油墨,则选用合理的或化学溶液融解消除。

  3、表层精饰:金属蚀刻后的制品可依据设计方案规定开展表层精饰。假如规定表面光洁的,可进行化学抛光,陕西材料刻蚀多少钱,一方面能够耐蚀原材料等残余物,还可以除去蚀刻加工过程中附在表层的浸蚀物质。此外,可以根据打磨抛光提升表层的光泽度。

  4、表层钝化处理或着色:蚀刻加工后如若要进行文本加工或图案设计的话,加工原件表层要进行展钝化处理或安全防护解决。用在装饰设计上的产品可进行上色或刮涂解决。




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氮化***材料刻蚀加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要聚焦半导体产业发展的应用技术研究,兼顾重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

湿法腐蚀仍然用来腐蚀硅片上某些层或用来去除干法刻蚀后的残留物。

ICP是近几年来很常用的一种离子体刻蚀技术,它在GaN的刻蚀中应用很广泛。ICP刻蚀具有等离子体密度和等离子体的轰击能量单独可控,低压强获得高密度等离子体,在保持高刻蚀速率的同事能够产生高的选择比和低损伤的刻蚀表面等优势。

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工艺所用化学物质取决于要刻蚀的薄膜类型。

铝膜湿法刻蚀:对于铝和铝合金层有选择性的刻蚀溶液是居于磷酸的。遗憾的是,铝和磷酸反应的副产物是微小的氢气泡。这些气泡附着在晶圆表面,并阻碍刻蚀反应。结果既可能产生导致相邻引线短路的铝桥连,又可能在表面形成不希望出现的雪球的铝点。特殊配方铝刻蚀溶液的使用缓解了这个问题。典型的活性溶液成分配比是:16:1:1:2。除了特殊配方外,典型的铝刻蚀工艺还会包含以搅拌或上下移动晶圆舟的搅动。有时超声波或兆频超声波也用来去除气泡。

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