华一净化(图)-芯片厂净化车间-东丽芯片厂净化

由于洁净室是密闭性很强的建筑，其安全疏散成为非常重要和突出的问题，芯片厂净化车间，和净化空调系统设置也有密切关系。一般应注意以下几点：1．每一生产层防火区或洁净区至少设2个安全出口，只有面积小于50?，人员少于5人时，可允许只设一个安全出口。2．人净入口不应作疏散出口。因为人净路线往往迂回曲折，一旦烟火迷漫，要求人员很快跑到室外是很困难的事。3．吹淋室不能作为一般出入通道，芯片厂净化工程施工，由于这种门常为两扇联锁或自动，东丽芯片厂净化，一旦出现故障，非常影响疏散，所以一般均在吹淋室设旁通门，工作人员多于5人时必须设此门。平时工作人员出洁净室时不应走吹淋室而应走旁通门。

不只是空调系统，净化车间系统中还包括有真空，空压，氮气，纯水，废水，二氧化碳系统，制程排气系统，芯片厂净化车间施工，检测标准：1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是净化车间效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流净化车间工作区的平均气流通度及其均匀性。2、系统或房间的风量检测。3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时***其原有洁净度的能力。

废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有***体。

空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。