真空箱式氦检漏系统
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真空箱式氦检漏系统
概述
本设备适用对充气环网柜(以下简称工件)进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空,使工件内外压差不大于0.04Mpa,对被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性检测,通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用,后向工件内充入规定压力的SF6和氮气工作气体。
回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时,真空箱氦检漏仪器哪家好,利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机,并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性,将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行,直至达到回收终压力。
性能特点
1、安全
★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能,北京氦检漏仪器哪家好,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。
★ 真空箱门设安全光电保护装置,确保操作者安全
★ 氦气示踪安全环保。
★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀保证系统安全。
2、高灵敏度
★ 检漏精度高。
★ 抑零功能,消除氦本底影响。
真空箱式氦检漏设备【验收标准】
由于真空箱式氦检漏系统是比较好的设备,半导体氦检漏仪器哪家好,所以需要用户进行验收,以免后期使用过程中产生问题,难以解决。首先是设备在运往用户工厂后根据技术协议逐条验收,之后进行操作、维修等技术培训,验收合格后双方签字生效。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收,以免延期因保管出现的产品质量问题。需要注意系统调试需要用测试工件。
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真空箱式氦检漏系统
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机械系统主要由以下四个单元构成:真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。
1.1真空箱单元
真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。
真空箱:采用不锈钢材质制造,其内表面在加工后经抛光和清洗处理,保证了良好的本底和ji少的藏气,提高了真空箱的抽空效率。
1.2 充氦气回收单元
充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。
1.3 检漏单元
真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元,氦质谱检漏仪采用进口产品,自动校准漏孔。技术成熟,性能稳定,安装维护方便,使其和真空箱连接更加协调紧密。
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