净化工程解决方案：对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽，其加湿方法属等温加湿过程。从确保洁净室内相对湿度的精度而言，车间净化工程，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，洁净室净化工程，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时尽量不采用。而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。
净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，净化，可提供局部超洁净之空气。
洁净隧道(Clean
Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：
A.弹性扩充容易;
B.维修设备时可在维修区轻易执行。
净化技术的设备发展
对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为***的信息产业。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个***和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。
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