超精密气浮转台、机械转台
更多产品信息请联系应用工程师：张陈 185-1855-8688
- ABRT精密气浮转台
•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达
•无顿转 (Zero cogging)伺服马达以提供之速度稳定性
•误差运动(Error Motion) 与偏转(Runout)特性
•直接耦合，高精度旋转编码器 (光栅)
•大尺寸中空口径
•完全无机械接触
ABRT系列空气轴承旋转平台提供角度位置精度，速度稳定性，与误差运动规格，同时维持大负载能力与轴向与径向刚性。ABRT可达到DVD刻板 (DVD mastering)，晶圆检测，高精度量测，X-ray绕射，光学元件检测与生产，微机电 /奈米装置生产之各种严苛要求。
2. ABRS精密气浮转台
•直接驱动无槽，无刷伺服马达
•无顿转(Zero cogging) 伺服马达以提供之速度稳定性
•误差运动(Error Motion) 与摆动(Wobble)特性
•直接耦合，高精度旋转编码器 (光栅)
•平面式设计，降低平台高度
•完全无机械接触
ABRS系列空气轴承旋转平台提供角度精度，速度稳定性，与误差运动规格同时维持的平台整体高度。ABRS可达到晶圆检测，高精度量测，X-ray绕射，光学元件检测与生产，微机电 /奈米装置生产之各种严苛要求。ABRS之特殊设计能够将平台高度降到低。
3. ADRT精密转台
•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达
•无顿转(Zero cogging) 伺服马达以提供之速度稳定性
•误差运动(Error Motion) 与偏转(Runout)特性
•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)
•大尺寸中空口径
ADRT系列机械轴承直驱旋转平台提供角度精度与速度稳定性，适用于取放设备，高速雷射加工，高精度晶圆检测等。大尺寸双轴承提供高的性能并维持摆动 (Wobble)，侧向刚性，与重複精度。大尺寸之轴承提供高负载并维持高性能。
4. ADRS精密转台
•大扭力输出，直接驱动无槽，无刷伺服马达
•无顿转(Zero cogging) 伺服马达以提供之速度稳定性
•直接耦合，高精度旋转编码器(光栅)
•平台高度降低工作高度
更多产品信息请联系应用工程师：张陈 185-1855-8688
在这只是介绍了几款转台的代表，更多的产品系列及参数请联系应用工程师：张陈 185-1855-8688。