真空镀膜机机械泵相关知识
真空镀膜机机械泵是真空镀膜机里面很重要的一部分，在整个机体内，启着至关重要的作用。高真空镀膜机，连续镀膜机是目前制作真空条件应用***为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统.下面至成镀膜设备详细介绍各部分的组成及工作原理。
真空镀膜机的基本技术要求有哪些?
很多新员工刚入职的时候，说起真空镀膜机，都认为自己很***，但是当问到真空镀膜机的基本技能要求的时候，知道的人却很少，今天至成真空小编为大家详细介绍一下，列举出真空镀膜机的基本要求，希望能帮助到大家。
1、设备中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合GB/T6070的规定。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安装电场屏蔽装置。
3、如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。
4、设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。
5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜材料的利用率，合理匹配沉积源的功率，合理布置沉积源在真空室体的位置。
6、合理布置加热装置，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。
5、工件架应与真空室体绝缘，工件架的设计应使工件膜层均匀。
8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有***非正常放电装置，维持工作稳定。
9、真空室接不同电位的各部分绝缘电阻值的大小
真空镀膜设备维护***
真空镀膜设备镀制两百次以上应当对真空室进行清洁，使用清洗液：NaOH饱和溶液，步骤，反复擦洗真空室的内壁。注意事项：NaOH溶液对***皮肤有灼伤效果，不可直接接触。
真空镀膜设备的真空泵（包括机械泵、旋片泵、扩散泵、滑阀泵等）连续工作了一个月以上需要更换新油（视情况而定，如油明显不足应及时添加不应死板），真空泵用久了抽真空速度会明显变慢，使用三个月至半年应该清洁油箱污垢，检查是否有***。泵在运转过程中应当保持油箱内油量不低于油标，泵应当时刻保持清洁，注意不同种类的真空泵油不可混合使用，真空泵使用唯独不超过70摄氏度。
真空镀膜设备的日常维护：
设备在工作的时候，操作人员不得长时间的离开岗位。设备工作时，应时刻注意各部分仪表的显示情况以及泵的声音，如果出现异常应当及时找出问题所在。
应设备工作时可能会产生振动使得部分螺栓出现松动，故必须定期检查。
经常检查各部分的回水情况，工作时应当保证各部分有充足的冷却水。
设备停止使用时候，应将真空室内的气体抽空，如果长时间需要搁置，需要充入保护气体并且把设备的水冷套循环水清空。
对设备的拆修不得用重锤敲击，不得划伤密封槽、密封面。
真空蒸镀铝涂层在纯金属涂层的制备上大多采用什么方法
真空蒸镀铝涂层在纯金属涂层的制备上，大都采用真空蒸发镀法。而纯金属中铝涂层，由于它用途广泛，如制镜工业中的以铝代银，集成电路中的铝刻蚀导线；聚酸薄膜表面镀铝制作电容器；
涤纶聚酯薄膜镀铝的制作、防止紫外线照射的食品软包装；涤纶聚酯薄膜镀钴后再镀铝制作磁带等。因此，今年来真空镀铝工业在国内外不但发展迅速，而且，正向着溅射法、离子镀法等镀膜技术领域发展。
真空蒸镀铝薄膜可选用间歇式蒸发镀膜，也可选用半连续式真空镀膜机。其蒸发源可为电阻源，电子束源，也可以选用感应加热式蒸发源，可依据蒸镀膜材的具体要求而定。
真空蒸发镀铝涂层的工艺参数，主要包括蒸镀室的压力、沉积速率、基片温度、蒸距等。如果从膜片基体上分布的均匀性上考虑，还应注意蒸发源对基片的相对位置及工件架的运动状态等方面因素。例如，选用电子束蒸发源进行铝涂层制备时，其典型的主要工艺参数可选用：镀膜室工作压力为2.6X10-4Pa、蒸发速率为2~2.5nm/s、基片温度20℃、蒸距450nm、电子束枪电压为9kV，电流为0.2A。电子束蒸镀法所得到的膜厚分散度较大，即均匀性较差。这也是近年来真空镀铝膜有向着溅射法和离子镀法发展制备铝膜的趋势原因之一。
