VKL-2/3/5/10系列真空等离子清洗机系统
关键词：等离子，13.56MHZ，真空清洗机，2L
产品介绍：
VKL-2/3/5/10系列真空等离子清洗机系统是国内目前应用广泛的真空等离清洗机，性能优越，可以同时处理物理和化学等材料清洗材料。两档操作模式，两路气压操作系统，全触摸屏操作，处理参数任意设定，是目前高校***材料清洗的***设备。
产品应用领域：
1、光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片、终端安装等的超清洗。清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质，去除金属材料表面的氧化物。
2、清洗半导体元件、印刷线路板、ATR元件、人工晶体、天然晶体和宝石。
清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。
3、高分子材料表面的修饰。封装领域中的清洗和改性，增强其粘附性，适用于直接封装及粘和。改善粘接光学元件、光纤、生物***材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。
4、涂覆镀膜领域中对玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面的改性，使其活化，增强表面粘附性、浸润性、相容性，显著提高涂覆镀膜质量。
5、***领域中对钛制牙移植物和硅酮压模材料表面的预处理，增强其浸润性和相容性。
6、***领域中修复学上移植物和生物材料表面的预处理，增强其浸润性、粘附性和相容性。对***器械的消毒和杀菌
主要技术参数：
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型号 |
VKL-2 |
VKL-3 |
VKL-5 |
VKL-10 |
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腔体材料 |
石英玻璃 |
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腔体容量 |
2L |
3L |
5L |
10L |
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内腔尺寸 |
100×200Lmm |
150×200Lmm |
150×270Lmm |
220×280Lmm |
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射频电源功率 |
0-300W 可调 |
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射频功率 |
13.56MHZ |
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RF*** |
无 |
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频率偏移量 |
小于0.2KHZ |
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等离子体轰击方式 |
从四周往中间 |
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腔体内温度 |
≦30°C/ ≦65°C |
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清洗时间 |
0-9999S可调 |
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显示屏 |
3.8寸触摸屏 |
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操作方式 |
自动和手动两种方式均可 |
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噪音 |
≦56dB |
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抽真空时间 |
启动到发辉光≦35秒（时间可调） |
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真空检测 |
数字显示 |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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腔体门 |
高强度铝合金，橡胶圈密封 |
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真空泵控制方式 |
主机与真空泵联动，主机可以控制真空泵开关 |
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供应电源 |
AC220V/50HZ |
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工作电流 |
不大于1.2A |
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平衡 |
不倒翁橡胶，自动平衡、减震 |
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外形尺寸 |
400x450x250 , 560x540x550, 650*550*475 |
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流量计 |
精密两路 |
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***：
中guo科学院金属研究所材料科学与工程
燕山大学材料科学与工程学院
哈尔滨工业大学
上海交通大学材料学院复合材料研究所和金属基复合材料******实验室
地球科学学院
四川省电子科技大学信息与材料国ji***实验教学示范中心
中国海洋大学材料科学与工程学院
华南理工大学材料与工程学院
中guo地质大学(北京)材料科学与工程学院
复旦大学材料科学与工程学院
电子科技大学材料科学与工程学院
兰州大学材料科学与工程学院
昆明理工大学材料科学与工程学院