原位热脱附过程的运行参数的检测主要是温度的变化情况。通常温度检测一般由热电偶和温度采集系统组成，热电偶等温度探头一般布置在中间电极或者加热井等一些温度达到指定值较为困难的区域。接下来是对污染的浓度检测，当温度持续上升后，达到VOCs的沸点后，污染物析出率开始增加并达到峰值，这时抽提回收率有明显的提高。达到回收率峰值之后，检测开始转向土壤和地下水污染物浓度。由于热处理过程是一个复杂的物理化学过程，在处理过程中常常会伴随着副产物的产生。过程中对于地下水的监测，一些之前地下水中没有的化合物会出现。尤其是有机物含量较高的土壤中，加热会加速有机物合裂解过程，酮类或者其他水溶性有机化合物会产生。不过，副产物一般存在时间很短，很快就转化为其他稳定物质。
原位热脱附技术有以下几个优点：广谱；可同步处理污染土壤与地下水；相对于其他的特别是异位技术，该技术无二次污染，对周围环境干扰少；系统灵活，移动性好，可重复使用；可与原位淋洗、化学氧化、生物修复配合使用。原位热脱附技术在我国具有极大潜力。
原位热脱附技术按照加热方式，可以分成蒸汽加热、电阻加热和热传导加热。根据能源性不同，分燃气加热和电加热。按照升温的温度可以分成低温和高温两种，低温和高温界限通常为100℃。蒸汽加热和电阻加热温度通常低于100℃，热传导温度可达100℃以上。污染物并不是一定需要加热到沸点以上才能够从土壤中分离，只要加热通常都是促进解吸的，只是时间长短的问题。