







真空镀膜机设备真空镀膜机系统组成
真空镀膜机等离子体束溅射镀膜机主要由射频等离子体源、真空获得系统、电磁线圈(发射线圈及汇聚线圈)、偏压电源、真空室(包括靶材及基片等)、真空控制系统等部分构成。其显著特点是它的等离子体发生控制系统,其示意图如图1所示。等离子体发生控制系统是镀膜机中的关键部分,其中射频等离子体源位于真空室的侧面,并在等离子体源的出口处及溅射靶材的下方分别配置有一个电磁线圈。当两个线圈同向通过电流时,线圈合成的磁场将引导等离子体源中产生的电子沿磁场方向运动,从而使等离子体束被约束在磁场方向上。同时靶材加有负偏压,使溅射离子在电场的作用下加速撞击靶表面,产生溅射作用。
真空镀膜机等离子体发生控制系统
真空镀膜机这种镀膜机具有非常灵活的控制方式,例如溅射速率可以通过调节靶材偏压和改变等离子体源的射频功率这两种途径进行调节。等离子体发生装置与真空室的分离设计是实现溅射工艺参数宽范围可控的关键,而这种参数阔范围的可控性使得特定的应用能够获得优化的工艺参数。此外,还可以通过控制系统的真空度来进行溅射速率的调节。
真空镀膜机中所示曲线为靶电流与偏压曲线、恒定电流密度时溅射速率与靶偏压的关系,其中恒定电流时射频功率为500W。
真空镀膜机镀膜技术在塑料上的应用
很多塑料厂家为了自己的产品外形更好看,更耐用,更受消费者喜爱,都纷纷采购塑料真空镀膜机。塑料真空镀膜机镀膜技术在塑料制品上的应用广泛,塑料具有易成型,成本低,质量轻,不腐蚀等特点,塑料制品应用广泛,但因其缺点制约了扩大应用。通过真空镀膜技术的应用,使塑料表面金属化,将有机材料和无机材料结合起来,大大提高了它的物理、化学性能。
真空镀膜用光固化涂装设备与紫外光固化真空镀膜涂料相比,组成部份更复杂,但是操作也简化了些。紫外光固化真空镀膜涂料的使用,是需要人工操控,凭着***性的技能与多年的从业经验,才能把握好工序,而真空镀膜用光固化涂装设备不同,更智能化。其使用过程为:
1)涂料存放及检查:涂料应在安全、清洁的地方存放,涂装前要仔细检查涂料的表观黏度、流变性和稳定性等。
2)工件的预处理:要求塑料基材的表面光洁,没有明显的表面缺陷,然后进行预处理,清除基材表面的油污、残存的脱模剂、静电和灰尘。
3)涂料的涂覆:根据工艺规范选择刷涂、刮涂、辊涂、淋涂、喷涂等方式。涂液一般采用淋涂和辊涂方式涂覆。
4)涂料的流平:涂覆后要有一定的流平时间,有时还要加热到一定温度(如40~60℃)来促进流平和溶剂挥发。
5)涂料的光固化:将流平后的工件进入光固化段,用某些辐射光源发出的紫外光使涂膜迅速固化。事先要选择好光源的种类、数量、排布以及与工件的距离等。
6)涂料紫外光固化后的延伸:经过一定时间的延伸与静置,将工件进入真空镀膜设备。
其中***关键的一步就是涂料的光固化了,但是由于真空镀膜用光固化涂装设备的紫外线灯可以自由选择光源数量,操作起来会更容易把握一些。但是一定要注意固化时长的计算,如果未彻底固化而使用,会造成严重的后果。