真空镀膜设备背压检漏法
背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法，真空镀膜设备中多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏技术中。
其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步骤。
(1)充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放一定时间，如被检件有漏孔，示漏气体就可以通过漏孔进入被检件的内部，并且将随浸泡时间的增加和充气压力的升高，被检件内部示漏气体的分压力也必然会逐渐升高。
(2)净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部或在其内部喷吹被检件。
如不具备气源时也可使被检件静置，以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。
在净化过程中，因为有一部分气体必然会从被检件内部经漏孔流失，从而导致被检件内部示漏气体的分压力逐渐下降，而且净化时间越长，示漏气体的分压降就越大。
(3)检漏过程则是将净化后的被检件放入真空室内，将检漏仪与真空室相连接后进行检漏。
抽真空后由于压差作用，示漏气体即可通过漏孔从被检件内部流出，然后再经过真空室进入检漏仪，按检漏仪的输出指示判定漏孔的存在及其漏率的大小。
真空镀膜机中电磁控制的发展
真空镀膜机在现在对产品的表面处理上具有的优势还是比较明显的，这种镀膜机械比起其他的表面处理设备来说，在加工方面，本身是需要在真空的环境中进行的，这样的镀膜方式就把外界的一些影响因素给“屏蔽”了，这是这种真空镀膜机的一个优势之处。
而对于真空镀膜机械来说，目前的电路的发展也十分迅速，很多电子化的产品也被运用到电路当中，也使得这些机械逐渐发展成为了电动化、自动化的设备。
其中溅控溅射镀膜机就是比较好的一类代表，作为一种装置来说，它也是体现出真空镀膜技术***手段的代表，利用磁力进行控制，通电产生的电磁效用等都对镀膜技术进行辅助。
可以说是目前表面处理技术中值得关注的一类，而电磁控制的镀膜机械的产生对现在的镀膜设备来说，提高了镀膜时候膜层的粒子量，这是这种镀膜机械的主要运用了。
真空镀膜机设计安全
安全保护系统对任何仪器设备都是很重要的。为保证整机设备和人身安全，对于用户来说，我们设计分配了2级的安全级别，即管理者和操作者。管理者可以修改工艺和参数，而操作者只能执行程序，查阅程序参数。
不论是工作在自动工作方式，还是手动维护方式，输出量的互锁保护都是非常重要的。为防止误操作，我们设计了互锁电路和程序互锁的2级互锁。条件不充分按错键时，系统给予提示不执行错误命令。系统中还增添了某些重要参数的安全区域报警或警告。通过红黄绿三色警示灯和讯响器的控制动作，分别实现各种情况的警示。如工艺过程中工艺气体充气流量稍低于设定流量时，给予黄灯讯响警告仍然继续工作，压力***后流量转为正常，绿色指示灯亮。但当流量低于设定的下限时，红灯点亮报警，停止工艺进程
镀膜机通过用户的使用和生产，证明整个程序化自动控制系统满足了用户的使用要求。
控制系统界面清晰友善、编程简单、操作方便、数据查阅迅速、系统稳定可靠、工艺重复性好，光学减反射膜层的透射率等性能指标完全符合航天高性能GaAs太阳电池的要求，并为今后提高GaAs太阳电池的减反射膜层性能提供了良好的平台。
尽管如此，电子束蒸发镀膜机的发展在国内已有几十年，技术虽不断提高，但比较国外***技术还有一定差距。本文对电子束蒸发镀膜机所应用的控制技术国际上虽然不是很新的技术，但此方面控制系统的应用，在国内生产的真空应用设备上还很少，且要能长期工作稳定可靠，还有很大的发展空间，这是和国内真空行业在真空应用设备上的整体发展水平相关的。
