







真空镀膜设备多弧离子镀膜工艺不仅避免了传统表面处理的不足,且各项技术指标都优于传统工艺,在五金、机械、化工、模具、电子、仪器等领域有广泛应用。催化液和传统处理工艺相比,在技术上有哪些创新?
1、多弧离子镀膜不用电、降低了成本、成本仅为多弧离子镀膜镍的二分之一,真空镀膜机多弧离子镀膜铬的三分之一,不锈钢的四分之一,可反复利用,大大降低了成本。
2、多弧离子镀膜易操作、工艺简单、把金属基件浸入兑好的液体中“一泡即成”,需要再加工时不经任何处理。
3、多弧离子镀膜无污染,***无味,无三废排放,属***环保产品技术。
4、多弧离子镀膜好处理、使用方便;形状复杂的金属基件都能处理。
5、多弧离子镀膜硬度大,硬度增强、催化液泡过的金属基件硬度是多弧离子镀膜工艺的几倍。
6、多弧离子镀膜不会生锈,催化液浸泡过的金属基件已渗透表皮里面,不起皮、不脱落。
多弧离子PVD镀膜设备镀工艺及应用
离子镀基本工艺流程
①工件的预热.
一般的离子镀方法使用烘烤加热装置对工件进行加热,而热阴极离子镀则是利用等离子电子束轰击工件;电弧离子镀是利用金属离子轰击工件,对工件加热,达到预热的目的,有时电弧离子镀也采用辅助烘烤加热装置对工件进行预热。
②离子轰击溅射清洗.
一般离子镀的离子轰击溅射清洗是基片施加负偏压,利用辉光放电产生的Ar离子轰击基片,对基片进行离子轰击溅射清洗,而热阴极离子镀是利用等离子电子束轰击辅助阳级,Ar离子轰击基片进行离子轰击溅射清洗;电弧离子镀是利用金属离子轰击工件,对工件加热的同时对工件进行离子轰击溅射清洗。
③离子沉积.
不同的离子镀方法在离子沉积时,所使用的源和离化方法不同,具体的设备不同,沉积的膜层不同,其工艺程序和工艺参数也不同,因此,应根据具体情况确定沉积的工艺程序和工艺参数,还应注意在整个沉积过程中保持工艺参数的稳定。
真空镀膜机磁控溅射主要工艺流程:
1、基片清洗,主要是用蒸汽清洗,随后用乙醇浸泡基片后快速烘干,以去除表面油污;
2、抽真空,真空须控制在2×104Pa以上,以保证薄膜的纯度;
3、加热,为了除去基片表面水分,提高膜与基片的结合力,需要对基片进行加热,温度一般选择在150℃~200℃之间;
4、Ar气分压,一般选择在0.01~1Pa范围内,以满足辉光放电的气压条件;
5、预溅射,预溅射是通过离子轰击以除去靶材表面氧化膜,以免影响薄膜质量;
6、溅射,Ar气电离后形成的正离子在正交的磁场和电场的作用下,高速轰击靶材,使溅射出的靶材粒子到达基片表面沉积成膜;
7、退火,薄膜与基片的热膨胀系数有差异,结合力小,退火时薄膜与基片原子相互扩散可以有效提高粘着力。
真空镀膜机磁控溅射镀膜的特点:薄膜纯度高,致密,厚度均匀可控制,工艺重复性比较好,附着力强。
依据溅射源的不同,真空镀膜机磁控溅射有直流和射频之分,两者的主要区别在于气体放电方式不同,真空镀膜机射频磁控溅射利用的是射频放电,陶瓷产品使用的是射频磁控溅射镀。
