







DLC真空镀膜设备的分类与应用
金刚石膜(DLC)真空镀膜设备是***在塑料玻璃金属等表面进行蒸发镀铝、鉻、一氧化硅的专用设备,DLC真空镀膜设备镀出的膜层牢固且细密环保,我们日常生活中都离不开DLC真空镀膜设备。
金刚石膜(DLC)真空镀膜设备主要是(集)直流磁控溅射,中频溅射和电弧离子蒸发三种技术融合一体,结合线性离化源及脉冲偏压镀膜可使沉积颗粒细化膜层各项性能提高,能在金属制品及非金属表面镀制合金膜、化合物膜、多层复合膜等。
经至成真空科技技术人员多年专注研发,通过特有的阴极电弧离子和非平衡磁控系统,开发出整套PROPOWER系列计算机自动控制系统,使镀膜层附着有力致密、从复度一致性好等特点;
解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色不一致等问题。广泛适用于手表、手机壳、五金、洁具、餐具及要求耐磨起硬的刀具、模具等。镀制TiN、TiCN、CrN、TiALN、TiNbN、TiCrN、TiNC等。
DLC镀膜设备技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用。DLC镀膜设备技术有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
DLC镀膜设备是在中间设置真空室,在真空室的左右两侧设置左右大门,蒸发DLC镀膜设备而在其中配装蒸发装置和磁控装置,蒸发DLC镀膜设备可在该双门上预留该两装置的接口,以备需要时换装。
金刚石膜(DLC)真空镀膜设备应用于五金件、玻璃工艺品、陶瓷工艺品等,如手表、手机金属壳、洁具、刀具、模具、电子产品、水晶玻璃等。
磁控溅射真空镀膜机的主要用途有哪些
磁控溅射技术在市场上运用非常广泛,也受到了众多商家的采纳,自然磁控溅射真空镀膜机也被众多商家认可,下面至成真空小编为大家详细介绍一下磁控溅射真空镀膜机的主要用途:
(1)各种功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低温沉积氮化硅减反射膜,以提高太阳能电池的光电转换效率。
(2)装饰领域的应用,如各种全反射膜及半透明膜等,如手机外壳,鼠标等。
(3)在微电子领域作为一种非热式镀膜技术,主要应用在化学气相沉积(CVD)或金属有机
(4)化学气相沉积(CVD)生长困难及不适用的材料薄膜沉积,而且可以获得大面积非常均匀的薄膜。
(5)在光学领域:中频闭合场非平衡磁控溅射技术也已在光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻璃和透明导电玻璃等方面得到应用。特别是透明导电玻璃目前广泛应用于平板显示器件、太阳能电池、微波与射频屏蔽装置与器件、传感器等。
(6)在机械加工行业中,表面功能膜、超硬膜,自润滑薄膜的表面沉积技术自问世以来得到长足发展,能有效的提高表面硬度、复合韧性、耐磨损性和抗高温化学稳定性能,从而大幅度地提高涂层产品的使用寿命。
磁控溅射除上述已被大量应用的领域,还在高温超导薄膜、铁电体薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜发光材料、太阳能电池、记忆合金薄膜研究方面发挥重要作用
真空镀膜的膜层厚度如何测量?
在使用真空镀膜机镀膜之后,为了需要可能会要测量膜层的厚度,测量膜层的厚度用什么方法呢?
***直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板,保持蒸发速率。
只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的精准度是有限的,部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。
此外虽然QCM在较低温度下非常稳定,但温度较高时,它会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成重大误差。
光学监控是高精密镀膜的的优选监控方式,这是因为它可以更精准地控制膜层厚度(如果运用得当)。
精准度的改进源于很多因素,但***根本的原因是对光学厚度的监控。
