







磁控溅射法定义是什么?
磁控溅射法是在高真空充入适量的Ar气,在阴极(柱状靶或平面靶)和阳极(镀膜室壁)之间施加几百K直流电压,在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电,使Ar气发生电离。Ar离子被阴极加速并轰击阴极靶表面,将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。
离子溅射镀膜机
多靶离子束溅射镀膜机系统在高精度光学薄膜沉积应用中处于较高地位。多靶离子束溅射镀膜机是当今仅存的在同一系统可互换使用行星型,简单旋转型或可翻转型基片装置的系统。
在通信应用上,能用于沉积高产值的200,100和50GHz具有窄通带,宽截止频带,高隔离度,低插损特性的DWDM滤波器,满足***为严格的性能指标。在其它高精度光学应用上,多靶离子束溅射镀膜机能用于沉积增透膜,复杂的非四分之一波长膜层,以及吸收和散射低于百万分位的超低损耗激光镜。
真空镀膜的膜层厚度如何测量?
在使用真空镀膜机镀膜之后,为了需要可能会要测量膜层的厚度,测量膜层的厚度用什么方法呢?
***直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板,保持蒸发速率。
只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的精准度是有限的,部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。
此外虽然QCM在较低温度下非常稳定,但温度较高时,它会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成重大误差。
光学监控是高精密镀膜的的优选监控方式,这是因为它可以更精准地控制膜层厚度(如果运用得当)。
精准度的改进源于很多因素,但***根本的原因是对光学厚度的监控。
离子真空镀膜机镀膜工艺及镀膜产品表面防腐方法
不锈钢基材通常会用抛光、拉丝、喷砂、化学蚀刻、激光雕刻、数控机床雕刻等作表面美工处理,有的还用激光焊接,水法电镀镍铬层等。那么离子真空镀膜机启到了很关键的作用,今天至成小编为大家讲解一下离子真空镀膜机镀膜工艺及镀膜产品表面防腐方法。
其实大家都知道,以上介绍几种不锈钢基材表面处理方法,各自有各自的优势和劣势。如:抛光作业会在工件上残留难以去除的硬化了的抛光蜡;尼龙轮拉丝在拉丝沟上会残留透明的不易发现的高分子化合物;砂轮拉丝可能残留磨粒和粘结剂,或因摩擦过热产生氧化皮;喷砂会有陶瓷砂粒﹑玻璃砂粒、氧化铝砂粒残留镶嵌在表面上;化学蚀刻会有腐蚀产物残留在腐蚀坑内,或在其它非腐蚀表面上残留用于防腐蚀的保护物质;激光雕刻处理会产生高温氧化皮和烧蚀基体碎片残留;数控机床雕刻会有高温氧化皮和切削油残留,还会有基材碎片被压入基体上;激光焊接也会导致高温氧化等;水法电镀铬层会生成难以去除的复杂氧化物,这些处理引起的污染不彻底清除会导致离子镀过程打火、镀层假附着、掉膜、颜色不均等不良。
在离子真空镀膜机镀产品中美工处理方式往往不是单一的,而是多种作业组合,这更增加了镀前清洗的困难。采用传统的超声去油除蜡的方法是不能胜任的,必须调整清洗工艺,对不同的污染,可选择机械清除、气相清洗﹑真空加热后再清洗、阴极电解﹑阳极电解、或采用针对性的***清洗剂等等。这些综合措施可取得较好的效果,但对有些污染仍未找到理想的解决办法。新近等离子体抛光方法应用到镀前清洗是值得关注的技术,该技术在某些镀层的褪镀取得良好效果。
