离子束刻蚀机
离子束技术的应用涉及物理、化学、生物、材料和信息等许多学科的交叉领域。离子束加工在许多精密、关键、高附加值的加工模具
等机械零件的生产中得到了广泛应用。一些***用于军事装备的建设上，如改善蜗轮机主轴承、精密轴承、齿轮、冷冻机阀门和活塞的性能。离子注入半导体掺杂已成为超大规模集成电路微细加工的关键工艺，大样片离子束刻蚀机，导致出现了80年代集成电路产业的腾飞。
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湿法刻蚀
湿法刻蚀是一个纯粹的化学反应过程，是指利用溶液与预刻蚀材料之间的化学反应来去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而达到刻蚀目的。其特点是：湿法刻蚀在半导体工艺中有着广泛应用：磨片、抛光、清洗、腐蚀优点是选择性好、重复性好、生产效率高、设备简单、成本低。
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离子束刻蚀机
具有一定能量的离子束轰击样品表面，大样片离子束刻蚀机厂家，把离子束动能传给样品原子，使样品表面的原子挣脱原子间的束缚力而溅射出来，大样片离子束刻蚀机多少钱，从而实现刻蚀目的。这是纯粹的物理溅射过程。
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