





离子束刻蚀机的特点
刻蚀过程是纯物理溅射,大样片离子束刻蚀机价格,可以刻蚀任何固体材料;平行离子束刻蚀,高各向异性;无钻蚀;精度高,分辨率lt;0.01um.
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离子束刻蚀机
离子束是指以近似一致的速度沿几乎同一方向运动的一群离子。离子源用以获得离子束的装置。在各类离子源中,用得较多的是等离子体离子源,即用电场将离子从一团等离子体中引出来。这类离子源的主要参数由等离子体的密度、温度和引出系统的质量决定。属于这类离子源的有:潘宁放电型离子源射频离子源、微波离子源、双等离子体源、富立曼离子源等。另一类使用较多的离子源是电子碰撞型离子源,主要用于各种质谱仪器中。


离子属刻蚀机的注意事项
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#.在设备工作时,禁止扶、靠设备,大样片离子束刻蚀机,禁止触摸高频电缆和线圈,以免发生意外
#.高频电源实际使用功率不能超过较大限制#.检查设备时,必须关机后切断电源
#. 工作场地必须保持清洁、干燥,设备上及设备周围不得放置无关物品,特别是易1燃、易1爆物品
#.长期停放时注意防潮,拆除电源进线,大样片离子束刻蚀机厂家,每隔3-5天开一次机,保证反应室真空以免被污 染
#.设备停机、过夜也要保持反应室真空,大样片离子束刻蚀机生产厂家,如停机较长时间后再进行刻蚀工艺,需***行一次空载刻蚀,再刻蚀硅片


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