







真空镀膜机机械泵相关知识
真空镀膜机机械泵是真空镀膜机里面很重要的一部分,在整个机体内,启着至关重要的作用。高真空镀膜机,连续镀膜机是目前制作真空条件应用***为广泛的设备。其相关组成及各部件:机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统.下面至成镀膜设备详细介绍各部分的组成及工作原理。
真空镀膜机的基本技术要求有哪些?
很多新员工刚入职的时候,说起真空镀膜机,都认为自己很***,但是当问到真空镀膜机的基本技能要求的时候,知道的人却很少,今天至成真空小编为大家详细介绍一下,列举出真空镀膜机的基本要求,希望能帮助到大家。
1、设备中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。
2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。
3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。
4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的工作情况以及其他关键部位。
5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。
6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。
5、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。
8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有***非正常放电装置,维持工作稳定。
9、真空室接不同电位的各部分绝缘电阻值的大小
真空电镀设备的监控方法
随着基础工业及高新技术产品的发展,对优质、***表面改性及涂层技术的需求向纵深延伸,国内外在该领域与相关学科相互促进的局势下,表面改性与涂层工艺模拟和性能预测等方面都有着突破的进展。以下就和大家介绍一下真空电镀设备的监控方法:
1、目视监控:使用眼睛监控,因为薄膜在生长的过程中,由于干涉现象会有颜色变化,我们就是根据颜色变化来控制膜厚度的,此种方式有一定的误差,所以不是很准确,需要依靠经验。
2、极值监控法:当膜厚度增加的时候其反射率和穿透率会跟着起变化,当反射率或穿透率走到极值点的时候,就可以知道镀膜之光学厚度ND是监控波长(入)的四分之一的整倍数。但是极值的方法误差比较大,因为当反射率或者透过率在极值附近变化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有变化。反映比较灵敏的位置在八分之一波长处。
3.定值监控法:此方法利用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少,此即为停止镀膜点。
4.水晶振荡监控:利用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。但是石英监控有一个不好之处就是当膜厚增加到一定厚度后,振动频率不全然由于石英本身的特性使厚度与频率之间有线性关系,此时必须使用新的石英振荡片。
真空镀膜设备使用哪些领域
镀膜技能在修建玻璃和汽车玻璃上的运用
修建玻璃有透光和隔热两个基本功用。一般玻璃能透过绝大部分太阳光辐射能量,这对采光和吸收太阳光线的能量非常有利。而关于空间红外辐射,一般玻璃虽能阻挠室内的热量直接透过室外,但热量被玻璃吸收后的二次散热也会构成很大的丢失。跟着经济的开展,一般玻璃已越来越不能满意大家的请求。而阳光操控膜和低辐射膜正好能弥补了一般玻璃在这一方面的缺乏。阳光操控膜能够满意低纬度区域下降室内温度的请求;而低辐射膜则能满意高纬度区域充沛承受太阳辐射能量和大极限阻挠室内热量外流的请求。在玻璃上,镀涂一层TiO2就能使其成为防雾、防露和自清洗玻璃。这种技能在汽车玻璃上有良好的运用。
镀膜技能在飞机防护涂层方面的运用
飞机的钛合金紧固件,原来选用电镀办法镀镉。但在镀镉中含有氢,所以在飞翔进程中,遭到大气、海水的腐蚀,镀层上简单发生“镉脆”,甚至导致“空难”。1964年,选用离子镀办法在钛合金紧固件上镀铝,处理了飞机零件的“镉脆”疑问。在离子镀技能中,因为给工件施加负偏压,能够构成“伪分散层”、细化膜层安排,因而能够显著进步膜层的耐腐蚀功能。
