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尽管对低温等离子体去除污染物的机理还不清楚，但一般都认为是粒子间非弹性磕碰的成果。其降解机理可概括为：

1、高能电子直接效果于有机废气分子，抚州双介质等离子设备，污染物分子受磕碰激起或离解构成相应的基团和自由基。

2、高能电子与气态污染物中所含的空气、水蒸气和其它分子效果发生新的自由基和激起态物质活性粒子及氧化性极强的O

3，将有机物完全氧化。3、活性基团从高能激起态向下跃迁发生紫外光，紫外光直接与***气体反响而使气体分子键断裂然后得以降解。

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