蚀刻过程中应注意的问题
1. 减少侧蚀和突沿﹐提高蚀刻系数
侧蚀会产生突沿。 通常印制板在蚀刻液中的时间越长,金属发热丝蚀刻, 侧蚀的情况越严重。 侧蚀将严 重影响印制导线的精度﹐ 严重的侧蚀将不可能制作精细导线。 当侧蚀和突沿降低时﹐蚀刻 系数就会升高﹐高蚀刻系数表示有保持细导线的能力﹐使蚀刻后的导线能接近原图尺寸。 无论是锡-铅合金﹐锡﹐锡-镍合金或镍的电镀蚀刻剂, 突沿过度时都会造成导线短路。
去边(Edge bead removal-EBR)--去胶边的过程,通常在涂胶后将溶剂喷在硅片的背面或前 边沿上。 前烘(Soft-bake)-- 在涂胶后用来去除胶溶剂的温度步骤。 ***-- 把涂胶后的硅片,暴露在某种形式的射线下,柳州蚀刻,以在胶上产生隐约的图像 的步骤。 PEB —***以后消除胶里的由衬底反射引起的胶里的驻波的温度步骤。 显影(Development)-- 在***以后分解胶产生掩膜图案的过程。 后烘 (Hard-bake)—用来去除残留溶剂,增加胶的沾着力和耐腐能力,蚀刻标牌,在显影后完成,蚀刻标牌厂家,可以包 括 DUV 固胶。

镂空产品的***细线条应在基材厚度的 1.2 倍以上; 表面蚀刻产品的***细线条间隔应在 0.16mm 左右, 这在 0.16mm 当中黑线与白地的比例视反光度不同可作成 1∶3、2∶2、2∶1。双面蚀刻产品的正反菲林片四周应有清晰准确的对准十字线, 且正反两张片都要药膜帖近基材。 (以铜板为例) 板材正面用 2400 转/分布轮抛光, 1.2 板材处理 达到镜面效果,然后去腊、除油、清洗、干燥待用。 1.3 网印光致成像感光胶 因为制作图案极细。显影后无法修补,因此选择好的感光胶尤 为重要。我公司选用高氏(coates)光致成像耐蚀油墨,在黄光或 红光下用 200 目丝网满版印刷, 头次印抛光面, 100℃烘 15 分钟, 第二次印反面,再用 100℃烘 30 分钟,待冷却,表面不粘手,方可 进行***。 1.4 *** 吸气哂版机***。***时间 20-100 秒不等,线条越细,*** 时间越长,反之则短。 1.5 显影 用 3-5%碳酸钠水溶液显影, 水温在 50℃左右, 水泡数秒钟后, 用软羊毛刷轻轻将水溶液刷除,然后清水漂洗二次,达到完全没有残 留胶为止。将湿铜板直接进行蚀刻,也可晾干后再行蚀刻。
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