




什么是振动?首先,在进行深入讨论振动之前,我们需要对振动进行定义。振动可以定义为设备对于平衡位置的机械振动。
在工业现场设备中产生振动是正常的,电容式位移传感器,的但是有时候异常的振动就是设备不正常的表现。这就是为什么经验丰富的老师傅,靠听就知道设备哪里有问题。
在机器监控中,会有两种类型的振动:轴向振动和径向振动。
“轴向”振动是纵向轴振动或平行于电机轴的振动。例如,位移传感器,联轴器未对准可能会引起轴向振动。
“径向”振动是指从轴向外施加的力。如负载没有做动平衡,则会发生径向振动。这个很好理解,就像自行车轮是瓢的,骑起来一定很费力一样。
随着微机电技术的发展,如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构,它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极,中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状,薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外,在薄膜上还有刻蚀出的小孔,当薄膜随质量块运动时,空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构,它的可靠性是相当高的。
电容式加速度传感器又称变电容式加速度传感器,它的结构原理如下图所示,一个质量块固定在弹性梁的中间,质量块的上端面是一个活动电极,位移传感器报价,它与上固定电极组成一个电容器C1;质量块的下端面也是一个活动电极,它与下固定电极组成另一个电容器C2。
当被测物的振动导致与其固连的传感器基座振动时,位移传感器厂家,质量块将由于惯性而保持静止,因此上、下固定电极与质量块之间将会产生相对位移。这使得电容C1、C2的值一个变大、另一个变小,从而形成一个与加速度大小成正比的差动输出信号。
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