高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,管道工程怎么样,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解拋光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valleyheight)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,管道工程生产商,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing amp; Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。

气体管道安装
实验室供气系统作为一种气体补给方式,现已经被人们越来越广泛的使用。它是一种包括了气源、切换装置、压力调节设备、终端、报警设备。气路系统通常采用不锈钢管道。
实验室供气系统主要包括***集中供气系统和气瓶分散供气系统两种模式。实验室集中供气系统已成为实验室的主流,其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高,工作流程更优化。实验室是一个特殊的工作区域,从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑,形成系统的供气迫在眉睫,实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现,气瓶供气已逐步淘汰。

气体管路施工技术要求及验收标准?
施工要求:
1、所有不锈钢管道两端用塑料盖密封,外部有塑料套密封,在进入施工现场后,安装前,方可将塑料套拆封,并除去塑料盖。
2、管道铺设时,管道工程哪家好,应注意平直,弯管处采用专用弯管器,不得徒手弯曲,切断管道时,用专用切管器操作,严禁用锯子锯断管道。管道切断后,应用专用工具处理断口,严禁用普通锉刀处理。
3、在管道的行进路线中,江苏管道工程,每隔l米应设置一组管夹,如遇特殊建筑物结构,应酌情考虑。
4、管道穿墙及穿地板时,应设置套管,套管与管道之间的空隙,应采用不可燃烧的材料填充。
5、管道采用全自动焊机焊接方式衔接。
6、所有螺纹连接处应采用密封带密封。
7、所有系统部件安装完毕后,应用高纯氮气进行三遍以上的大流量吹扫。
8、在整个施工过程中,应注意施工安全。
(4)验收说明
施工结束后,用高纯氮气进行检漏保压测试,测试压力应为工作压力的1.25倍。试压规定时间后,压力表读数变化小于0.5%(根据GB金属工业管道施工及验收标准)。
以上管道、各种阀件品牌、材质,连接方式及其相关工艺流程等需严格按标书要求响应,须符合***标准。

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