直线模组应用在半导体行业的优点
***常见的直线模组类型有平板直线电机、U形槽直线电机和圆柱直线电机。圆柱型直线电机即音圈电机。音圈电机具有构造简单、响应速度快、灵敏度高、随动性好、密封性能好、不怕污染、适应性强、运行稳定可靠、使用寿命长等优点。因此，这种直线模组广泛用于半导体涉及器件和其他发展领域。
引线连接器
与半导体制造装置有关的引线连接器的装置，一般都在Z轴机构和XY工作台机构上使用。Z轴机构是通过用金属线连接电极和引线框而相对于XY平台上的集成电路芯片上下移动的机构。
XY工作台机构是因为连接位置的改变而移动放置集成电路芯片电极和引线框架的工作台的机构。
有效减振器
为保证半导体涉及装置中的加工精度，对装置所存放地基的震动以及建在装置上的驱动设备产生的震动都要予以***。原先是用弹簧和流体进行被动的或主动的震动***，因为音圈直线模组的构造简单，响应性好等优势，并且对检测的振动能实现抵消作用的操作。这一有效减振器非常实用，由此而赢得积极的推广。
双轴十字平台
随着工业4.0的发展，音圈直线模组已成为半导体行业不可或缺的核心部件。 标准环形音圈电机的峰值推力达到5000N，行程达到300mm，摆动型音圈电机的峰值转矩达到50N.M，摆动角度超过120°。音圈直线模组将在许多领域赢得更多的应用，慢慢取代传统电机如齿条和螺杆。
直线模组的基本参数和电机选型
1.较大工作电压( max. voltage ) ———较大供电系统工作电压或不断供电系统谷值工作电压，关键与电动机丝包线、电动机绝缘层材料电机选型及加工工艺相关;
2.谷值推力(Peak Force) ———电动机的较大推力，在短期内内(几秒钟)，在于电动机电磁感应构造的安全性极限工作能力(与电动机的丝包线原材料密切相关);
3.谷值电流量(Peak Current) ———较大工作中电流量，与较大推力想相匹配，小于电动机的去磁电流量(长期工作中在电动机的谷值基础理论电流量下能造成电动机发烫，对电动机使用寿命有挺大的损害，更比较严重将造成电动机內部磁钢去磁。);
4.持续输出功率(Peak power) — — —在不断温度标准和热管散热标准下，电动机持续运作的发烫耗损，体现电动机的热设计方案水平;
5.较大持续耗费输出功率(Max. Continuous Power Loss) ———明确温度标准和热管散热标准下，电动机可持续运作的限制发烫耗损，体现电动机的热设计方案水平;
6.电机力常数———电动机的推力电流量比，企业N/A或KN/A， 体现电动机电磁感应设计方案的結果，在某种程度上还可以体现电磁感应设计方案水准;
7.反方向电动势(Back EMF) ———电动机反电势差(指数)，企业Vs/m， 体现电动机电磁感应设计方案的結果，危害电动机在明确供电系统工作电压下的运作速率;(体现电动机的设计方案主要参数)
直线模组安装的注意事项
一、绝缘电阻的检查
应用直线模组前，务必准确测量其电磁线圈及绝缘电阻。测量直线模组每个线圈与直线电机电磁线圈外壳的绝缘电阻。可以使用绝缘电阻计(500伏直流电)。判断直线电机的基准如下：
绝缘电阻阻值100兆及以下，直线电机正常
绝缘电阻阻值在10-100兆之间，电磁线圈必须按时检查
绝缘电阻的电阻值在10兆以下，请更换新的直线电机
二、直线模组动子板安装
1.转子盘直线电机表层(机床侧)的精度要求
a .直线电动机的动子基板的机械表面层的粗糙度和表面层的弯曲程度在50μm以内。
B.转子板可能由于机械线性马达的外力或冲击和其他因素而弯曲和变形。这种变形不能
超过 0.1mm。如果形变量超过 0.1mm，则可能会导致动子板上的树脂层开裂。
2 .动子基板和磁铁定子的中心的重合精度要求
将动子基板直线模组放置在工作台上时，导轨上必须直线电机。此时，转子基板和磁铁定子
直线电机配合精度。
三、直线模组定子板安装事项分析
1、磁石定子安装时留意下述几个因素：
①、固定螺孔的距离；②、固定螺孔的较小距离；③、磁石定子之间的气隙。
2、磁石定子的安装精度
①、安裝磁石电机定子的表面层(机床安裝表层),机床的表面粗糙度和起伏不能超过50um。 ②、不必将磁石电机定子安裝在形变超出0.1mm的机械表面上。因为通电后，电机转子板的磁铁线圈的反复运动将会造成带磁板的反复形变，从而导致磁体表层上的环氧树脂掉下来。
