







真空PVD镀膜涂层工艺有那些步骤呢?
今天至成真空小编为大家详细介绍一下真空PVD镀膜涂层工艺操作步骤,它的先后顺序是怎样的,有那些细节和原理是必须要了解的。
首先在处理工艺前,需要褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹。镀膜工艺,抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉。后处理工艺:首先清洗环节,确保真空镀膜机镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,越能保证镀膜质量;然后再抽真空将真空室内的残余气体抽走。接下来加热烘烤,炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放。压升率测试,测试炉体的漏气率和放气率。轰击清洗,去除工件表面的杂志,露出新鲜表面。镀膜,沉积膜层。冷却,避免工件氧化变色。为什么要进行冷却,镀膜工艺完成后,真空室内温度高达500℃,如果不冷却就放气,没有被镀上膜的高温工件表面会因为与空气反应氧化变成蓝色。
卷绕真空镀膜机结构设计应该注意的几个问题
真空镀膜机使用的行业不一样,它的机型是不一样的,那么它的结构设计也是有很大的差别。在设计真空镀膜机的时,我们都是要考虑到很多因素,比如:要镀的物件大小,使用的材质,以及它的热点,和其他的一些细节注意事项等,都会影响真空镀膜机的结构设计,那么卷绕真空镀膜机结构设计应该注意那几个问题呢?下面至成真空小编,为大家详细介绍一下:
1、提高卷绕速度的问题。卷绕速度即是带状基材运动的线速度,它是卷绕机构的一个主要技术指栎。国内早期镀膜机卷绕速度只有10m/min,现在也只有80m/min~120m/min,在国外日本的EW系列产品中,其卷绕速度已达到300m/min,德国L.H公司生产的镀膜机已达到600m/min,可见随着镀膜技术的发展,卷绕速度有待提高。
2、带状基材的线速恒定问题。这一问题也很重要,因为只有卷绕机构保证带状基材的线速恒定,才能使基材上镀层厚度均匀。这一点对制备带状基材的功能性膜(如电容器膜)尤为重要。
3、带状基材的跑偏和起褶问题。随着卷绕速度的提高,带状基材在卷绕镀膜过程中,起褶和发生偏斜,严重时会造成基材的断裂,使生产中断,既影响生产效率,又浪费材料。因此,在卷绕机构的设计中应充分考虑这一问题。
卷绕镀膜机真空抽气系统分上室下室两组,下室为蒸镀室,要求真空度高,主泵多为油扩散泵。上室为基材卷绕室,要求真空度较低,为罗茨泵机组或扩散泵一罗茨泵一机械泵组。一般蒸镀室要达到的真空度为1x10^-3Pa—2×10^-3Pa,而工作压力为1×10^-2Pa—2×10^-2Pa,而卷绕室真空度通常较蒸镀室低一个数量级。有时卷绕镀膜机以增扩泵(油扩散泵的一种)为主泵,它的极限压力虽然不及油扩散泵,但其抽速范围向高压方向延伸一个数量级,非常适宜此类蒸发的镀膜过程。
光学真空镀膜机薄膜根据其用途分类、特性与应用可分为哪些膜
光学真空镀膜机薄膜根据其用途分类、特性与应用可分为:反射膜、增透膜/减反射膜、滤光片、偏光片/偏光膜、补偿膜/相位差板、配向膜、扩散膜/片、增亮膜/棱镜片/聚光片、遮光膜/黑白胶等。相关衍生的种类有光学级保护膜、窗膜等。
光学真空镀膜机光学薄膜的特点是:表面光滑,膜层之间的界面呈几何分割;膜层的折射率在界面上可以发生跃变,但在膜层内是连续的;可以是透明介质,也可以是吸收介质;可以是法向均匀的,也可以是法向不均匀的。实际应用的薄膜要比理想薄膜复杂得多。这是因为:制备时,薄膜的光学性质和物理性质偏离大块材料,起表面和界面是粗糙的,从而导致光束的漫反射;膜层之间的相互渗透形成扩散界面;由于膜层的生长、结构、应力等原因,形成了薄膜的各种向异性;膜层具有复杂的时间效应。
