







真空镀膜机真空的清洗方法,你知道吗?
真空镀膜机真空清洗一般定义为在真空工艺进行前,先从工件或系统材料表面清除所不期望的物质的过程。真空零部件的表面清洗处理是很必要的,因为由污染物所造成的气体、蒸气源会使真空系统不能获得所要求的真空度。此外,由于污染物的存在,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。
一.真空加热清洗
将工件放置于常压或真空中加热.促使其表面上的挥发杂质蒸发来达到清洗的目的,这种方法的清洗效果与工件的环境压力、在真空中保留时间的长短、加热温度、污染物的类型及工件材料有关。其原理是加热工件.促使其表面吸附的水分子和各种碳氢化合物分子的解吸作用增强。解吸增强的程度与温度有关。在超高真空下,为了得到原子级清洁表面,加热温度必高于450度才行.加热清洗方法特别有效。但有时,这种处理方法也会产生***。由于加热的结果,可能发生某些碳氢化合物聚合成较大的团粒,并同时分解成碳渣
二.紫外线辐照清洗
利用紫外辐照来分解表面上的碳氢化合物。例如,在空气中照射15h就可产生清洁的玻璃表面。如果把适当预清洗的表面放在一个产生臭氧的紫外线源中.要不了几分钟就可以形成清洁表面(工艺清洁)。这表明臭氧的存在增加了清洁速率。其清洗机理是:在紫外线照射下,污物分子受激并离解,而臭氧的生成和存在产生高活性的原子态氧。受激的污物分子和由污物离解产生的自由基与原子态氧作用.形成较简单易挥发分子.如H203、CO2和N2.其反应速率随温度的增加而增加.
热成型模真空镀膜机有什么优势:
热挤压模:热挤压过程中所使用的铁合金与非铁合金工具必须经受因腐蚀与超高温而产生的高成形压力,严重的磨粒磨损以及粘着磨损。HC物***相沉积涂层与HC化学气相沉积涂层展现了其高韧性,耐磨性,抗腐蚀性以及热稳定性,而这些性能恰恰能够明显地提高工具的使用效率。HC化学气相沉积涂层通常适用于拥有复杂几何图形和较大长宽比的工具。HC08,HC10或HC29涂层适用于公差要求不高的工具,而结合了渗氮处理的HC35,HC22或HC30涂层适用于公差要求很高的热挤压工具。
热锻模:热锻造过程中所使用的工具必须经受高成形压力,严重的磨粒磨损以及粘着磨损,并且需要经历要求严苛的热环境条件。另外,它们必须经受高水平的冲击,因此地提升工具性能变得更具挑战性。HC物***相沉积涂层具有高韧性,耐磨性,热稳定性以及抗擦伤性,而这些性能恰恰能够提高工具的使用效率以及铁合金与非铁合金产品的质量。
结合了渗氮处理的HC22,HC25与HC30涂层适用于热锻造工具。
电子束光学镀膜机有哪些特点
在玻璃/PMMA/PC基片上形成高精度光学多层薄膜的精密真空镀膜机。将满足客户需求的多种元件组合在一起,可以形成品质更加优良的薄膜。
基片伞架采用了每分钟可转60转的中心旋转方式(公转),减少产生振动和颗粒,使基片能够稳定旋转。
采用坩埚上没有极片的电子束加热方式(2台电子枪,10kW型)作为蒸发源,可以稳定地形成多层膜。
采用本公司独有的比率控制法和多点在线监控,可以形成高精度且稳定的光学多层膜。
可利用操作性良好的升降机来取出基片伞架。
