2012年Semicon West ,AGS公司推出一个新型的,桌面式 TT-150—RIE/CVD 系统,非常经济实用,对世界各地大学,研究所来说这样如此特色的RIE和CVD应用是非常***的。
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模块化的TT-150适合半导体MEMS,TFT,PV的2寸---6寸应用。
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AGS TT 等离子系统在一个平台上提供了所有的功能特征
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RIE,PECVD,和等离子刻蚀PE都能在一个易操作,低维护,实用简单的平台上实现,同时可以根据您的工艺要求升级您的需求
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当您需要更换工艺技术是,腔体的部件,材料,进气装置提供更多的工艺扩展
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AGS依靠公司丰富的经验为新工艺开发提供低成本的***的技术资源便于提前研发***的领域技术
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桌面式,占地面积小,节省实验室空间
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工艺控制简单,易于使用者操作
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兼容等离子刻蚀PE和PECVD,成本低