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韦氏纳米系统(深圳)有限公司

普通会员7
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企业等级:普通会员
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公司官网:www.first-nano.de
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企业概况

First-NanoSystemGmbH2003年创立于德国德累斯顿工业大学(DresdenUniversityofTechnology)2008年香港成立德国韦氏纳米系统(香港)有限公司2015年上海成立德国韦氏纳米系统(香港)有限公司中国代表处,负责中国区业务2018年深圳正式成立韦氏纳米系统(......

刻蚀残留物去除剂

产品编号:121644424                    更新时间:2018-09-17
价格: 来电议定

韦氏纳米系统(深圳)有限公司

  • 主营业务:光学透镜和仪器,实验室器具,专用仪器仪表,电化学设备和部件
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产品详情

杜邦™pla***asolv®ekc265™蚀刻后残留物去除            

 应用:        

应用EKC265™蚀刻后残留物器广泛应用在半导体行业,以满足关键的清洁需求            

从高深宽比MEMS器件100μm+ 到***DRAM 的70nm集成的各个阶段

下面列出了常见的应用程序: 

  • 接触清洁            

  • 金属线清洁

  • TSV深硅穿孔清洁           

  • 钨埋位线清洗            

  • 聚酰***清洗            

  • Pad清洁            

  • MEMS清洗

 

特征:

  • 所有蚀刻后铝清洗的单一解决方案

  • 清洗接触,金属,穿孔和Pad

  • 高度选择性的残留物去除

  • 去除重有机残留物

  • 宽工艺窗口

  • 高产率 

  • 穿孔接触电阻降低

  • 铝清洗行业基准

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地址:主营产品:光学透镜和仪器,实验室器具,专用仪器仪表,电化学设备和部件

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