臭氧脱硝主要是利用臭氧的强氧化性，将不可溶的***态氮氧化物氧化为可溶的高价态氮氧化物，然后在洗涤塔内将氮氧化物吸收，达到脱除的目的。
低温条件下，O3与 NO间的关键反应如下：
NO O3→NO2 O2 （1）
NO2 O3→NO3 O2 （2）
NO3 NO2→N2O5 （3）
NO O M→NO2 M （4）
NO2 O→NO3 （5）
臭氧脱硝过程是利用氧化性极强的臭氧气体将烟气中的 NO 转换为易溶于水的 NOx，产物在后级脱硫塔中被吸收。因此脱硝过程不产生直接的副产物。也不需要新建洗涤吸收塔，只需要新建臭氧发生装置。臭氧脱硝可以达到90%以上的脱硝效率。
臭氧的氧化能力极强，从下表可知，臭氧的氧化还原电位仅次于氟，比过yang化氢、高meng酸钾等都高。此外，臭氧的反应产物是氧气，所以它是一种gao效清洁的强氧化剂。
臭氧脱硝的原理在于臭氧可以将难溶于水的NO氧化成易溶于水的NO2、N2O3、N2O5等高价态氮氧化物。工艺说明烟气中NOx的主要组成是NO（占95%），NO难溶于水，而高价态的NO2、N2O5等可溶于水生成HNO2和HNO3，溶解能力大大提高，从而可与后期的SO2同时吸收，达到同时脱硫脱硝的目的。浙江大学王智化等人对臭氧同时脱硫脱硝过程中NO的氧化机理进行了研究，构建出O3与NOX之间65步详细的化学反应机理，该机理比较复杂。在实际试验中，可根据低温条件下臭氧与NO的关键反应进行研究。
臭氧脱硝就是利用臭氧的强氧化性与一氧化氮进行反应，将烟气中的NO转化为高价态，需引入较强的氧化剂，在众多氧化剂中，臭氧是***环保清洁的强氧化剂，在gao效转化NO至高价态的过程中不遗留任何二次污染物，另外不同于?OH、?HO2 等，工作环境恶劣，自由基存活时间非常短，能耗较高，O3的生存周期相对较长，将少量氧气或空气电离后产生O3，然后送入烟气中，可显著降低能耗。将低温氧化技术与臭氧发生系统结合形成一体化的脱硫脱硝系统，可用于石油jing炼厂中加热器、锅炉等的废气治理。
工艺说明
烟气中 NOx 的主要组成是 NO（占95%） ，NO 难溶于水，而高价态的 NO2、N2O5等可溶于水生成 HNO2和 HNO3，溶解能力大大提高，从而可与后期的 SO2同时吸收，达到同时脱硫脱硝的目的。
臭氧作为一种清洁的强氧化剂，可以快速有效地将 NO 氧化到高价态。其主要反应式为：NO O3=NO2 O22NO2 O3=N2O5 O24NO2 2MO H2O=M（NO2）2 M（NO3）2N2O5 MO H2O=M（NO3）2。电子束法和脉冲电晕法虽然能够产生强氧化剂物质，如·OH、·HO2等，但工作环境恶劣，自由基存活时间非常短，能耗较高。O3的生存周期相对较长，将少量氧气或空气电离后产生 O3，然后送入烟气中，可显著降低能耗。
