{***空气过滤器检漏}方法
——高空气过滤器检漏检测方法——
气溶胶光度计测试法
气胶光度计测试法是***早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。气胶光度计（ Aerosol Photometer ）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。 DOP 是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。 微粒计数器测试法
半导体业方面，早期也是使用 DOP/PAO 与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。——洁净室检测之压差检测——这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。经过科学家一步步研究结果，发现 PSL 因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前***广为使用的标准微粒。使用时只要把 PSL 溶液雾化，导入滤网上游即可
{洁净室检测}从业人员规范
——洁净室检测从业人员规范——
为了防止和削减洁净室从业人员对洁净室形成的污染。洁净室检测作业以外的人员，在与洁净室作业人员捷星接触说话时，要将自己背对曩昔，因为口鼻会向注视的方兴发出污染。
做到口鼻不对洁净室的作业区。
如果出现咳嗽或许打喷嚏的情况，要做到背对洁净室的作业区用手套掩住，然后及时替换手套。情况严重的者应立即离开洁净室区域，并向***陈述。
{洁净室检测}
——***过滤器检漏目的——
为了通过测出允许的泄漏量，发现***过滤器及其安装的缺陷所在，以便采取补救措施。在洁净室中，***过滤器是实现高洁净度空气净化的关键设备。100000级(D级)或8级以上洁净度级别的洁净室普遍采用***过滤器（HEPA)，但***过滤器安装后能否达到设计要求，在很大程度上取决于HEPA的安装质量。在实践中有许多洁净室其设计是合理的，但工程安装结束后却未达到预定的效果，检测发现不是污染粒子超标，就是***数超标，并且还往往找不出真正原因。检测项目：风量（换气次数）、新风量、风速、压差（静压差）、温度、相对湿度、噪声、照度、***空气过滤器检漏、悬浮粒子（空气洁净度等级）、浮游菌、沉降菌、自净时间、表面染菌密度等。其实此类事情的发生，往往是由于HEPA过滤器安装不合理引起的。
