




变面积型电容传感器
被测量变化导致动极板移动,引起两极板间有效覆盖面积S的变化,从而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿着长度方向平移Δx时,其电容变化量化为
式中,C0=ε0εrba/d,电容位移传感器,为初始电容;a为极板长度;b为极板宽度;Δx为极板水平位移。可见ΔC与Δx间成线性关系。
当动极板有一个角位移θ时,与定极板间有效覆盖面积发生变化,从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时有
式中,εr为介质相对介电常数;d0为两极板间的距离;S0为两极板间初始覆盖面积。
当θ=0时
传感器电容量C与角位移θ间成线性关系。
电容式测量原理特性:采用电容式测量原理,需要洁净和干燥的环境,否则传感器探头和被测物体之间的物质介电常数的变化会影响测量结果。我们也推荐任何时候,都尽量缩短探头到控制器之间的电缆长度。对于标准设备,配备前置放大器,电缆长度设定为1m, (根据不同的模块选择,能到3m)。如果配备外置放大器,探头到控制器之间的电缆长度可以达到20m。
电容位移传感器一般用于需要很高精度的应用环境。他们被用于测量振动,振荡,膨胀,位移,挠度和形变等等测量任务。因此,电容式位移传感器经常被用作质量保证。
新型的电容位移,分辨率可以达到纳米级别。源于的温度稳定性,在剧烈的温度波动情况下,电容式传感器是理想的选择。

位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测,大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高(目前分辨率可达到纳米级)、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点,在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。
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