







常用的光学镀膜有哪些?
虽然薄膜的光学现象早在17世纪就为人们所注意,但是把光学薄膜作为一个课题进行专门研究却开始于20世纪30年代以后,这主要因为真空技术的发展给各种光学薄膜的制备提供了先决条件。发展到今日,光学薄膜已得到很大发展,光学薄膜的生产已逐步走向系列化、程序化和***化,但是,在光学薄膜的研究中还有不少问题有待进一步解决,光学薄膜现有的水平在不少工作中还不能满足要求,需要提高。在理论上,不但薄膜的生长机理需要搞清光学薄膜,而且薄膜的光学理论,特别是应用于极短波段的光学理论也有待进一步完善和改进。在工艺上,人们还缺乏有效的手段实现对薄膜淀积参量的精准控制,这样,薄膜的生长就具有一定程度的随机性,薄膜的光学常数、薄膜的厚度以及薄膜的性能也就具有一定程度的不稳定性和盲目性,这一切都限制了光学薄膜质量的提高。所以,光学薄膜发展至今也可以说是一个飞跃性的进步了,今天首先赓旭光电小编和大家一起来认识一下生活当中常见的几种光学薄膜。
一,减反射膜:又称增透膜,它的主要功能是减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光,从而增加这些元件的透光量,减少或消除系统的杂散光。
简单的增透膜是单层膜,它是镀在光学零件光学表面上的一层折射率较低的薄膜。当薄膜的折射率低于基体材料的折射率时,两个界面的反射系数r1和r2具有相同的
光学薄膜:位相变化。如果膜层的光学厚度是某一波长的四分之一,相邻两束光的光程差恰好为π,即振动方向相反,叠加的结果使光学表面对该波长的反射光减少。适当选择膜层的折射率,使得r1和r2相等,这时光学表面的反射光可以完全消除。
一般情况下,采用单层增透膜很难达到理想的增透效果,为了在单波长实现零反射,或在较宽的光谱区达到好的增透效果,往往采用双层、三层甚至更多层数的减反射膜。图1的a、b、c分别绘出Kg玻璃表面的单层、双层和三层增透膜的剩余反射曲线。
AF防***真空镀膜机镀膜技术
AF英文全名Anti-fingerprint,中文为抗***,AF防***真空镀膜机适用于手机。平板电脑,车载显示器等触控产品外,也适用于在其他数码产品,电器,卫浴等塑料和金属件的装饰和功能薄膜上加镀AF、AS涂层,提高光滑镀、易清洁性。AF防***真空镀膜机的性能是提高AF(防***或成AS防污染)真空膜层的性能,并通过提高设备产率和稳定性、降低材料消耗来大幅降低成本。
它的原理:AF防污防***玻璃是根据荷叶原理,在玻璃外表面涂制一层纳米化学材料,将玻璃表面张力降至较低,灰尘与玻璃表面接触面积减少90%,使其具有较强的疏水、抗油污、抗***能力;使视屏玻璃面板长期保持着光洁亮丽的效果。
真空镀膜机溅射工艺
真空镀膜机溅射工艺主要用于真空镀膜机溅射刻蚀和薄膜沉积两个方面。溅射刻蚀时,被刻蚀的材料置于靶极位置,受Ar离子的轰击进行刻蚀。刻蚀速率与靶极材料的溅射产额、离子流密度和溅射室的真空度等因素有关。真空镀膜机溅射刻蚀时,应尽可能从真空镀膜机溅射室中除去溅出的靶极原子。常用的方法是引入反应气体,使之与溅出的靶极原子反应生成挥发性气体,通过真空系统从溅射室中排出。沉积薄膜时,溅射源置于靶极,受Ar离子轰击后发生溅射。如果靶材是单质的,则在衬底上生成靶极物质的单质薄膜;若在溅射室内有意识地引入反应气体,使之与溅出的靶材原子发生化学反应而淀积于衬底,便可形成靶极材料的化合物薄膜。通常,制取化合物或合金薄膜是用化合物或合金靶直接进行溅射而得。在溅射中,溅出的原子是与具有数千电子伏的高能离子交换能量后飞溅出来的,其能量较高,往往比蒸发原子高出1~2个数量级,因而用溅射法形成的薄膜与衬底的粘附性较蒸发为佳。
若在溅射时衬底加适当的偏压,可以兼顾衬底的清洁处理,这对生成薄膜的台阶覆盖也有好处。另外,用真空镀膜机溅射法可以制备不能用蒸发工艺制备的高熔点、低蒸气压物质膜,便于制备化合物或合金的薄膜。溅射主要有离子束溅射和等离子体溅射两种方法。离子束溅射装置中,由离子枪提供一定能量的定向离子束轰击靶极产生溅射。离子枪可以兼作衬底的清洁处理和对靶极的溅射。为避免在绝缘的固体表面产生电荷堆积,可采用荷能中性束的溅射。中性束是荷能正离子在脱离离子枪之前由电子中和所致。离子束溅射广泛应用于表面分析仪器中,对样品进行清洁处理或剥层处理。由于束斑大小有限,用于大面积衬底的快速薄膜淀积尚有困难。等离子体真空镀膜机溅射也称辉光放电溅射。产生溅射所需的正离子来源于辉光放电中的等离子区。靶极表面必须是一个高的负电位,正离子被此电场加速后获得动能轰击靶极产生溅射,同时不可避免地发生电子对衬底的轰击。