在VOCs的治理上，根据调查可以知道催化氧化、吸附、生物法是国内外工业VOCs处理技术市场占有率较大的3种技术，其次是热力学燃烧和低温等离子技术[11]等。在适宜的适用范围中，化工厂废气处理，有机废气VOCs浓度低于500mg/M3用低温等离子法，500～2000mg/M3可以选用微生物法，500～10000mg/M3可以选用吸附法，大于1000mg/M3可以选用燃烧法，有机废气的浓度很高时可以选择直接燃烧法。
其他常见的工业废气
其他常见的工业废气污染物包括碳氧化物、CH4、卤化物、臭氧等等。
1）碳氧化物污染
碳氧化物为CO、CO2，CO常见于碳燃料的不完全燃烧产生，是一种无色有***体，进入***后会与血液中的血红蛋白结合，导致缺氧***，CO2也是一种无色气体，本身不具***性，但是是造成温室效应的主要气体之一。在自然界中二氧化碳含量丰富，为大气组成的一部分。二氧化碳也包含在某些***或油田伴生气中以及碳酸盐形成的矿石中。大气里含二氧化碳为0.03～0.04%（体积比），油墨废气处理，总量约2.75×1012t，主要由含碳物质燃烧和动物的新陈代谢产生。
2）卤化物气体污染
非有机卤化物污染主要是含氯和含氟的污染，其中氟化物是造成臭氧层空洞的主要原因之一。
“高温等离子焚烧”技术比较“传统RTO（***焚烧方法）”有以下优势：
1、不会产生二次污染。无异味，对人口居住密集地区而言这是一个重要的考量指标。
2、天燃气焚烧法RTO造价高昂，大量消耗天燃气、氧气，废气处理，增加二氧化碳、一yang化碳排放，有二次污染之虑，无法应对日渐严格的环境保护标准。天燃气焚烧法因其工作机理及自身结构上的缺陷，在******场所，或处理废气中含有可燃成分时需要考虑防爆问题。天燃气输送储存过程可能存在因泄漏而引发的安全问题。
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