




湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),专业制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

将两个面积不相等的电极置于射频(例如13.56MHZ)辉光放电离子体中形成非对称放电,面积小的那个电容耦合阴极有可能形成并建立阴极靶表面的负偏压,并能产生溅射。?电容耦合型射频(RF)放电电极自给偏压的形成,可以防止绝缘层表面正电荷的积累,有助于射频放电的维持。阴极靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,离子氮化炉,最1高时可达千伏量级。
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在射频辉光放电空间中,高频电子震荡已能产生足够的工作气体电离,对二次电子发射的依耐性减少了。射频磁控溅射气体放电时等离子阻抗低,工作气体击穿点火电压和维持异常辉光放电电压比中频靶电源时又要降低很多(点火电压只有直流放电等离子辉光放电时的五分之一~八分之一)。??
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辉光离子渗氮的特点有:离子轰击有净化表面作用,自动去除钝化膜,不锈钢、耐热钢材料无需预先去除钝化膜,可使不锈钢、耐热钢工件直接渗氮。化合物层结构、渗层厚度和组织可以控制。处理温度范围较宽,即使在350℃以下也能获得一定厚度的渗氮层。
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